유리 조각으로부터 웨이퍼를 보호하기: 튜브가 파손되는 것을 막아라
고부하의 반도체 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장나는 것이 단순한 가동 중단 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다.
쿼츠 튜브가 파손되면, 램프는 더 이상 작동하지 않을 뿐만 아니라, 웨이퍼 표면에 작은 유리 조각들과 화학물질들이 튀어나옵니다. 정말 엉망진창이죠. 그래서 우리는 그러한 위험이 발생하기 전에 미리 대비합니다.
튜브가 파손되는 이유
대부분의 경우, 그 원인은 열응력 때문입니다. 램프에 최대 전력을 공급하면, 중심 부분은 극도로 뜨거워지는 반면, 양쪽 끝부분은 상대적으로 차가워집니다. 이러한 온도차로 인해 유리 내부에서 기계적인 응력이 발생합니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 고순도의 융합 쿼츠를 사용합니다. 이 소재는 저가형 소재에 비해 거의 팽창하거나 수축하지 않기 때문에, 빠르게 온도가 변동해도 튜브가 안정적으로 유지됩니다.
또한 튜브의 양쪽 끝부분도 소홀히 하지 않습니다. 제대로 밀봉되지 않은 부분이 압력에 의해 먼저 파손됩니다. 우리는 밀봉 구조를 개선하여 더욱 튼튼하게 만들었습니다. 그래서 고부하 상황에서도 파손 걱정을 할 필요가 없습니다.
안전장치
사고는 언제든지 일어날 수 있습니다. 아무리 좋은 튜브라도 결국은 고장날 수 있습니다.
그래서 물리적인 보호 장치가 필요합니다. 우리는 가열 요소 위에 고광투과율의 쿼츠 커버나 보호망을 설치합니다. 이는 마치 보험과 같은 역할을 합니다. 만약 램프가 고장나서 튜브가 파손된다 해도, 이 커버가 파편들을 막아줍니다. 그렇게 되면 웨이퍼는 깨끗하게 유지되고, 생산 공정도 계속 진행될 수 있습니다.
단점
물론, 이러한 보호 장치를 추가하면 약간의 열저항이 생깁니다. 그 결과, 램프가 직접 방출하는 적외선의 세기가 약간 줄어듭니다.
따라서 전력 설정을 조절하거나 가열 시간을 조금 더 늘려주는 것이 필요합니다. 하지만 12인치 웨이프 전체를 폐기하지 않으려면 이 정도의 희생은 감수해야 합니다.
마지막 팁: 이러한 보호 장치와 함께 정밀한 PID 제어 시스템을 사용하세요. 단순히 전압을 높여서 열을 가하는 것은 피해야 합니다. 그렇게 하면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 전압을 일정하게 유지한다면, 하드웨어의 수명도 훨씬 길어질 것입니다.