半导体洁净室推车式加热器

别再等待清洁室中的传送车加热了 如果你有过在半导体深度加工领域工作的经验，那么你一定了解那种“等待”的痛苦。那些需要达到特定温度的晶圆或载体，在被送到下一步工序之前，必须先经过加热处理。但正是这个运输过程让整个流程变得缓慢起来。 我参观过的许多工厂仍然使用热风循环方式来加热。那其实是过时的方法。问...