MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆在干燥过程中保持干燥状态，而不会出现问题？ 如果您曾经处理过MEMS传感器晶圆，您就会明白其中的困难。哪怕只有一处水渍，或者在干燥过程中受到过大的机械压力，整个批次的产品都会受到影响。虽然需要加热，但必须精确控制加热的程度。 因此，我们选择使用短波红外线技术。与其浪费时间去加热整...