原子力显微镜 AFM 加热器

在晶圆厂车间，软烘烤和晶圆干燥是不能容忍偏差的工序。1℃的波动就可能导致关键尺寸偏移，且残留水分会直接引发缺陷。我们设计的AFM加热器能够稳定运行，满足先进晶圆加工所要求的热预算——日复一日。 核心技术要点 我们采用短波红外加热，封装于石英管内，因此响应迅速且温度稳定。烘烤区内晶圆级均匀性保持在...