为什么镀金反射器对晶圆加工如此重要
在半导体加工领域，能量的损耗就如同浪费金钱一样。这会降低生产效率。因此，我们在红外灯上使用镀金反射器。这样，热量就不会从背面散发出去，而是直接照射到晶圆表面。
黄金的优势 大多数人最初会选择铝作为反射材料，但问题在于：对于长波和中等波长的红外线来说，铝的反射效率实在太低了——它会把太多能量吸收掉。 而黄金则不同。我们只需在其表面涂上一层薄薄的黄金涂层，就能让能量更高效地被反射回来。这样一来，更多的能量可以作用于目标物体，而机器本身的温度则不会上升。实际上，这就把普通的灯泡变成了高效的加热工具。
注意功率密度 选择这类灯泡时，必须注意功率与表面积的比例。高功率的灯泡会在极小的空间内释放出大量的能量，从而产生严重的过热现象。如果冷却系统无法处理这些热量，那就麻烦了。我们曾经见过因为热量无处散发而导致灯座和电线烧毁的情况。
确保热量均匀分布 这些灯泡应该能够直接替换现有的红外灯。但关键在于如何让热量均匀地分布在晶圆上。如果灯泡的位置有哪怕几毫米的偏差，就可能会形成热点，而热点会破坏整个系统的正常运行。
最后一点：请务必戴手套 镀金表面非常敏感。如果操作人员用裸手接触反射器，皮肤上的油脂会在热量作用下渗入黄金表面，留下永久性的黑色痕迹。这样的痕迹会妨碍反射功能，导致热量无法有效散出，进而缩短灯泡的使用寿命，同时也会破坏系统的温度均匀性。 请保持反射器的清洁，并务必佩戴手套。这虽是个小细节，但却能避免很多麻烦。