MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 다룬 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 아주 작은 물방울 하나나 건조 과정에서의 과도한 기계적 스트레스만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 열이 필요하지만, 정확하게 제어되어야 합니다...