왜 적외선이 스마트 팹을 가열하는 유일한 방법인가? 현대적인 스마트 팹을 구축한다면, 더 이상 구식의 대류식 오븐에 의존할 수 없습니다. 그런 오븐들은 더 이상 효과적이지 않습니다. 우리는 고효율의 적외선 시스템을 사용합니다. 왜냐하면 이 시스템은 공기를 가열하는 번거로움을 없애고 에너지를 직접 제품에 전달하기 때문입니다. 이것이야말로 클린룸을 실제로 깨끗하게 유지할 수 있는 유일한 방법입니다.
정확한 데이터 확보 데이터 중심의 공장에서는 가열 장치가 따뜻해지기를 기다리는 것이 마치 영원처럼 느껴집니다. 이러한 ‘열 지연’ 현상은 매우 문제가 됩니다. 하지만 적외선 시스템은 달라요. 거의 즉시 작동합니다. 이 시스템들을 PLC 회로에 직접 연결함으로써, 실시간으로 전력을 조절할 수 있습니다. 게다가 각 웨이퍼나 기판이 얼마나 많은 에너지를 사용하는지도 정확히 알 수 있습니다. 빠르게 열을 가해야 한다면, 이 방법이 최선입니다.
먼지 억제 클린룸과 난기류는 서로 어울리지 않습니다. 강제공기식 오븐은 사실상 거대한 입자 발생기와 같아서, ISO 등급을 유지해야 하는 상황에서는 절대 피해야 합니다. 적외선 히터는 공기를 움직이지 않습니다. 그냥 그 자리에서 작동할 뿐입니다. 또한, 소형 공간 안에 많은 열을 담을 수 있어서, 장비가 바닥 공간을 차지하지 않습니다. 에너지를 특정 파장에 집중시키므로, 오븐의 벽이 아닌 제품만이 가열됩니다. 이건 훨씬 더 효율적인 방법입니다.
실제적인 단점들 물론, 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 고밀도 적외선은 전력망에 상당한 부담을 줍니다. 고전력을 사용하는 경우, 전력 패널이 그 충격을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 큰 문제가 생길 수 있습니다. 또한 온도 조절에도 주의해야 합니다. PID 설정이 제대로 되지 않으면, 기판이 손상될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 항상 폐쇄형 온도계를 사용할 것을 권장합니다. 이는 안전장치 역할을 합니다. 그리고 배선에 관한 팁: 열에 견딜 수 있는 커넥터를 선택해야 합니다. 저가형 커넥터는 사용하다가 고장날 수 있습니다. 하지만 일단 모든 것이 연결되면, 유지보수는 매우 간단해집니다. 팬을 고치거나 필터를 교체할 필요가 없습니다. 이건 훨씬 더 효율적이고 조용한 방법입니다.