더 이상 히터를 기다리지 마세요: 왜 UHP 적외선이 열풍보다 우월한가
반도체 제조 공정에서 일하는 사람이라면, 가장 큰 문제는 기술 자체가 아니라 바로 대기 시간이라는 것을 알고 있을 것입니다.
수년 동안 사람들은 강제 공기 순환 방식을 사용해왔지만, 여기에는 단점이 있습니다. 바로 열 전달의 지연입니다. 매번 작동할 때마다 몇 분씩 낭비되는 것입니다. 그래서 우리는 초고순도(UHP) 적외선 램프를 사용하기 시작했습니다. 열풍 대신 방사능을 이용함으로써 그러한 지연을 없앨 수 있습니다.
물리학적 원리
열풍이 어떻게 작용하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열해야 하고, 그 다음에 공기가 챔버를 가열하며, 마지막으로 챔버가 웨이퍼를 가열합니다. 이는 매우 느린 연쇄 반응입니다.
하지만 UHP 램프는 그런 방식으로 작동하지 않습니다. 짧은 파장의 방사능을 직접 표면에 비춥니다. 그 결과, 작동 시간이 몇 분에서 몇 초로 급격히 줄어듭니다. 따라서 온도가 안정될 때까지 기다릴 필요 없이 더 많은 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.
재료에 관한 세부 사항
클린룸에서는 오염이 치명적인 문제입니다. 그래서 우리는 이러한 램프에 고순도 합성 석영을 사용하여, 가스 방출로 인한 문제를 방지합니다.
하지만 주의할 점은, 아주 작은 공간에 많은 에너지가 집중된다는 것입니다. 우리는 고객의 요구에 맞게 전압과 와트수를 조절하여 램프를 제작하지만, 이러한 집중된 에너지는 매우 강력하기 때문에, 쿨링 시스템이 제대로 작동하지 않으면 문제가 생길 수 있습니다. 반드시 쿨링 시스템이 열을 잘 처리할 수 있도록 해야 합니다.
실제로 얻을 수 있는 혜택
가장 좋은 점은, 커다란 덕트나 시끄러운 팬들을 없앨 수 있다는 것입니다. 그 결과, 기계의 크기가 줄어들어, 이는 분명히 큰 이점입니다.
이는 간단한 교체일 뿐입니다. 느리고 번거로운 대류식 히터 대신, 빠르고 정확하게 열을 조절할 수 있는 램프를 사용하는 것입니다. 생산량을 늘리고 싶은 모든 공장에게 이 방식이 최적의 해결책입니다.