استفاده صحیح از بازتابندههای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، به گرما نیاز دارید؛ اما این گرما باید دقیق باشد. اما نمیتوانید فقط انرژی را به سمت سطح ویفر هدایت کنید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش برود، بهویژه اگر بخواهید که فرآیند خشک کردن تمیز و سازگار با محیط زیست باشد.
به همین دلیل، از لامپهای موج کوتاه همراه با بازتابندههای مادون قرمز با بازتابپذیری بالا استفاده میکنیم. این روش کاملاً متفاوت از استفاده از فرهای معمولی است؛ زیرا در این روش، انرژی مستقیماً به سمت سطح ویفر هدایت میشود، نه کل محفظه.
چرا بازتابندهها اهمیت دارند؟
در واقع، لامپ خشککننده به تنهایی کارایی چندانی ندارد؛ زیرا انرژی را در تمام جهات پخش میکند. بدون بازتابنده، نیمی از انرژی صرف گرم کردن بدنه دستگاه میشود. این روش استفاده مناسبی از انرژی الکتریکی نیست.
ما بازتابندههایی طراحی کردهایم که بتوانند انرژی هدررفته را جمع کرده و دوباره به سمت ویفر هدایت کنند. این کار باعث افزایش شدت گرما شده و زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کاهش مییابد. به این ترتیب، انرژی مصرفی برای هر ویفر کمتر خواهد بود.
جزئیات: مواد و گرما
ما از سطوح آلومینیومی با خلوص بالا یا سطوح پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ زیرا این مواد بهترین بازتابپذیری را دارند.
اما شکل ظاهری بازتابنده نیز بسیار مهم است؛ اگر منحنی بازتابنده حتی چند میلیمتر انحراف داشته باشد، نقاط داغی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. این وضعیت بسیار بد است؛ زیرا منجر به خشک کردن ناهموار ویفر یا حتی تغییر شکل سطح ویفر میشود.
همچنین باید مراقب میزان تحمل حرارتی بازتابنده نیز باشیم؛ زیرا این لامپها بسیار داغ میشوند. اگر بازتابنده به درستی طراحی نشده باشد، ممکن است تغییر شکل دهد. در این صورت، نقطه تمرکز انرژی تغییر کرده و بازدهی دستگاه کاهش مییابد.
استفاده از روشهای بدون سرب (و معایب آن)
استفاده از روش خشک کردن با مادون قرمز روشی عالی است؛ زیرا میتوانید از روشهای گرمایشی مبتنی بر حلالها و مواد حاوی سرب استفاده نکنید. این روش، روشی تمیز و بدون آلاینده است. کافی است کلید را فشار دهید تا گرما فوراً ایجاد شود، بدون هیچ گونه آلایندی.
اما این روش جادویی نیست؛ معایبی نیز دارد.
مادون قرمز دقت بالایی دارد، اما فاقد یکنواختی مطلوبی است که در فرهای معمولی وجود دارد. بنابراین باید فاصله بین لامپ و ویفر را تنظیم کرد و زاویه بازتابنده را نیز تنظیم کرد تا لبههای ویفر آسیب نبینند.
یک نکته مهم: اگر توان لامپ را بیش از حد بالا ببرید، بدون تنظیم فاصله، منجر به گرمایش بیش از حد در برخی نقاط ویفر خواهد شد. برای رسیدن به نتیجه بهینه، نیاز به دقت زیادی وجود دارد.