خشک کردن ویفرهای MEMS بدون مشکلات
اگر تا به حال با ویفرهای سنسورهای MEMS سروکار داشتهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. حتی یک قطره کوچک آب یا فشار مکانیکی بیش از حد در حین خشک کردن، میتواند باعث خراب شدن کل محموله شود. برای خشک کردن ویفرها، به گرما نیاز است؛ اما این گرما باید به شکل دقیقی توزیع شود.
به همین دلیل، از موجهای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها استفاده میکنیم. به جای صرف وقت برای گرم کردن هوای موجود در کامل محفظه، انرژی موجهای مادون قرمز مستقیماً روی سطح ویفر تخصیص داده میشود. این روش تمیزتر، سریعتر و منطقیتر است.
ساخت تجهیزات «هوشمند»
در کارخانههای مدرن، ما فقط کافی نیست که کلید را فشار دهیم و امیدوار باشیم که همه چیز خوب پیش برود. ما از مدارهای دیجیتال برای کنترل این سیستمها استفاده میکنیم.
مزیت این سیستمها این است که میتوانند به سرعت گرما را افزایش یا کاهش دهند. به لطف این سرعت، میتوانیم مسیر توزیع گرما روی ویفر را در زمان واقعی مشاهده کنیم. این اطلاعات مستقیماً به PLC منتقل میشود؛ بنابراین تمام سنسورهای موجود روی ویفر، با همان سرعت خشک میشوند. دیگر نیازی به حدس و گمان نیست.
تعادل در توزیع گرما
البته، یک مشکل وجود دارد: برای دستیابی به چگالی گرمایی مورد نیاز، معمولاً از لامپهای کوارتز با توان بالا استفاده میشود.
اما مشکل اینجاست که وقتی این مقدار انرژی در فضای کوچکی تخصیص داده میشود، فضا به سرعت گرم میشود. اگر بخواهیم سرعت خشک کردن ویفر را افزایش دهیم، سیستم خنککنندگی باید بسیار قوی باشد تا بتواند گرمای تولید شده را کنترل کند. اگر سیستم خنککنندگی کارایی لازم را نداشته باشد، ویفرها دچار تغییرات شکل میشوند؛ که چیزی است که هیچ کس نمیخواهد.
کنار گذاشتن روشهای قدیمی
ما همچنین از رلههای قدیمی و ناکارآمد استفاده نمیکنیم. اکنون از کنترلرهای PWM برای کنترل انرژی استفاده میکنیم. این روش به ما امکان کنترل صاف و خطی انرژی را میدهد. اگر ضخامت ویفر تغییر کند، کافی است فقط پروفایل مربوطه را در نرمافزار تغییر دهیم. دیگر نیازی نیست هر بار که پروژه تغییر کند، تجهیزات را عوض کنیم. این روش، نسبت به روشهای قدیمی، بسیار بهتر است.
در نهایت، استفاده از موجهای مادون قرمز روش بهتری است. زمان خشک کردن ویفرها کمتر میشود، فضای مورد نیاز برای تجهیزات کمتر میشود، و ویفرها تمیزتر خشک میشوند. این روش باعث میشود که فرآیند تولید به خوبی ادامه یابد.