چرا رفلکتورهای پوشیده شده با طلا برای ویفرهای شما اهمیت دارند؟
در صنعت فرآوری نیمههادیها، از دست دادن انرژی در واقع مانند هدر دادن پول است؛ این امر باعث کاهش بازدهی فرآیند تولید میشود. به همین دلیل، از رفلکتورهای پوشیده شده با طلا در لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم. به جای اینکه گرما از پشت لامپ خارج شود، ما آن را دقیقاً در جایی هدایت میکنیم که نیاز است: یعنی روی سطح ویفر.
ویژگیهای طلا
اکثر افراد از آلومینیوم برای ساخت رفلکتورها استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم در مقابل امواج مادون قرمز با طول موج بلند و متوسط، عملکرد خوبی ندارد؛ زیرا انرژی زیادی را جذب میکند.
طلا متفاوت است؛ ما یک لایه نازک از طلا روی رفلکتورها قرار میدهیم تا انرژی را با کارایی بیشتری بازتاب دهد. در نتیجه، واتهای بیشتری به سمت ویفر هدایت میشود و واتهای کمتری باعث گرم شدن بدنه دستگاه میشود. این کار در واقع یک لامپ معمولی را به ابزاری برای تولید حرارت دقیق تبدیل میکند.
توجه به چگالی انرژی
هنگام انتخاب این لامپها، باید به نسبت وات به مساحت سطح توجه کرد. لامپهایی با توان بالا، مقدار زیادی انرژی را در فضای کوچکی ذخیره میکنند؛ این امر باعث ایجاد مناطق گرم شدید میشود. اگر سیستم خنککننده دستگاه نتواند این گرما را کنترل کند، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. ما شاهد شدهایم که سوکتها و سیمهای لامپها به دلیل عدم وجود جایی برای رفتن گرما، آسیب میبینند.
قرار دادن صحیح لامپ در دستگاه
این لامپها برای جایگزینی ساده لامپهای مادون قرمز فعلی طراحی شدهاند؛ اما نکته مهم این است که گرما باید به طور یکنواخت روی ویفر پخش شود. اگر لامپ حتی چند میلیمتر هم جابجا شود، مناطق گرم شدیدی ایجاد خواهد شد؛ و این مناطق گرم، همه چیز را خراب میکنند.
نکته آخر: لطفاً از دستکش استفاده کنید!
پوششهای طلا بسیار حساس هستند؛ اگر تکنسینها رفلکتور را با دست خالی لمس کنند، روغنهای موجود در پوست آنها میتواند به طلا آسیب برساند. در نتیجه، لکههای تیره دائمی روی رفلکتور ایجاد میشود؛ این لکهها باعث میشوند رفلکتور دیگر نتواند انرژی را بازتاب دهد و گرما را جذب کند؛ این امر باعث کوتاه شدن عمر لامپ و اختلال در یکنواختی دمایی دستگاه میشود.
لطفاً رفلکتورها را تمیز نگه دارید و از دستکش استفاده کنید؛ این کار کوچک، میتواند از مشکلات بزرگ جلوگیری کند.