دیگر نیازی نیست نگران خرابی لامپها در حین فرآیند ترمیم ویفرها باشید.
در کارخانههایی که در آنها فشار بالا وجود دارد، خرابی لامپ میتواند یک فاجعه باشد. مسئله فقط مربوط به توقف فرآیند تولید نیست؛ اگر لامپ مادون قرمز در حین کار روی ویفر خراب شود، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی در همه جا پخش خواهند شد. یک خرابی کوچک میتواند به فاجعهای بزرگ تبدیل شود.
ما لامپهای ترمیم مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
حفظ شیشه در جای مناسب
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده کردهایم؛ این ماده بسیار مقاوم است و میتواند شوک ناشی از گرم شدن و سرد شدن را بهتر از مواد ارزانقیمت تحمل کند.
اما ما این کار را تمام نکردیم؛ ما یک پوشش محافظ یا لایه ویژهای دور لامپ اضافه کردهایم. این پوشش مانند یک تور محافظ عمل میکند؛ در صورت خرابی لامپ، تکههای شیشهای درون این پوشش باقی میمانند و روی ویفرها نمیافتند.
همچنین، مشکل تنگستن نیز وجود دارد؛ اگر تنگستن روی دیوارههای لامپ تجمع کند، نقاط داغی ایجاد میشود. این نقاط داغ باعث ایجاد تنش میشوند و تنش نیز منجر به ترک خوردن لامپ میشود. ما چرخه هالوژن داخل لامپ را طوری تنظیم کردهایم که تعادل حفظ شود؛ بنابراین گرما در سراسر لامپ یکنواخت پخش میشود و لامپ در اثر فشار خراب نمیشود.
توان، گرما و واقعیتهای کاری
نوسانات ولتاژ میتوانند عاملی مخرب در کارخانههای تولیدی باشند؛ آنها باعث خرابی زودهنگام لامپها میشوند. ما استانداردهای ولتاژ را تنگتر کردهایم و اطمینان حاصل کردهایم که اتصالات لامپها محکم باشند. هیچ اتصال ضعیفی وجود ندارد و هیچ مشکلی در اتصالات وجود ندارد.
البته، چالش اینجاست که چگالی گرمای بالا خوب است، اما نیاز به سیستم خنککننگ قوی دارد؛ اگر لامپها با بیشترین توان کار کنند، سیستم خنککننگ باید بتواند با آن سازگار شود. اگر جریان هوا ضعیف باشد، بدنه لامپ بیش از حد گرم خواهد شد و قطعات الکترونیکی آن نیز سریعتر خراب خواهند شد. پس حتماً به فنهای خنککننگ توجه کنید.
نصب لامپها در سیستم
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را بدون تغییراتی در سیستم فعلی نصب کرد؛ ابعاد لامپها با رکهای استانداردی که در حال استفاده هستند، یکسان است؛ بنابراین نیازی نیست وقت خود را صرف تغییرات در سیستم کنید.
با توجه به ویژگیهای شیمیایی کوارتز و ساختار فیزیکی لامپها، ما توانستهایم از خطرات ناشی از خرابی لامپها جلوگیری کنیم؛ حالا میتوانید دوباره به کار خود ادامه دهید.