حفاظت از لامپهای مادون قرمز در مناطق شیمیایی
هنگام تمیز کردن ویفرها، معمولاً با مواد شیمیاییی سروکار داریم که قابلیت تبخیر بالایی دارند و در واقع قابل اشتعال هستند. اگر لامپهای مادون قرمز با توان بالا را نیز به این مخلوط اضافه کنیم، خطرات جدی پیش خواهد آمد. آخرین چیزی که کسی میخواهد، ایجاد انفجار در حین فرآیند تولید است.
برای جلوگیری از این اتفاق، ما از طرحهای لامپهایی که دارای عناصر باز هستند، استفاده نمیکنیم. در عوض، همه چیز را درون پوششهای مخصوص قرار میدهیم.
جلوگیری از ایجاد جرقه
فکر کنید: یک جرقه کوچک یا تماس سطح داغ با بخارات مواد شیمیایی، میتواند منجر به انفجار شود. این یک سناریوی وحشتناک است.
به همین دلیل، لامپهای مادون قرمز را درون پوششهای کوارتزی با خلوص بالا قرار میدهیم و انتهای آنها را با فنرهایی که مقاوم در برابر مواد شیمیایی هستند، محکم میکنیم. این کار، دیوارهای محکم بین عنصر گرمایشی و هوای اطراف ایجاد میکند.
ما مطمئن میشویم که پوشش لامپ کاملاً ضدگاز باشد؛ بنابراین، اگر نشت مواد شیمیایی رخ دهد، بخارات آنها نمیتوانند وارد پوشش لامپ شوند یا به ترمینالهای الکتریکی برسند. این کار، خطرات را کنترل میکند.
انتخاب مواد مناسب
ما از فرستندههای مادون قرمز با موج کوتاه استفاده میکنیم. چرا؟ چون این فرستندهها، انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکنند. آنها وقت را صرف گرم کردن هوای اطراف یا خود پوشش لامپ نمیکنند؛ این کار باعث میشود سطح خارجی لامپ خنکتر بماند.
لطفاً، از فنرهای ارزانقیمت برای محافظت از لامپ استفاده نکنید؛ چون این فنرها میتوانند خراب شوند و باعث نشت اتمسفر شوند. ما از فنرهای مبتنی بر فلوروپلیمر استفاده میکنیم؛ چون آنها در برابر مواد خورنده مقاوم هستند.
معایب استفاده از پوششهای حفاظتی
البته، یک مشکل وجود دارد: وقتی که پوشش حفاظتی روی لامپ قرار میگیرد، لایهای از ماده بین منبع گرما و ویفر ایجاد میشود. این کار باعث کاهش جریان گرما میشود. این موضوع چندان مهم نیست، اما لازم است تنظیمات توان لامپ را تغییر دهید یا زمان کار لامپ را افزایش دهید تا این کاهش جبران شود.
نکته دیگر: فنهای خنککننده لامپ را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که آنها قادر به انجام کار خود هستند. اگر گرما در داخل پوشش لامپ انباشته شود، فیلامنت لامپ خیلی سریع خراب خواهد شد.