Hãy ngừng việc sử dụng phương pháp làm nóng bằng cách đốt cháy các bức tường trong buồng xử lý: Một cách tốt hơn để làm nóng các wafer
Khi bạn muốn làm nóng các wafer bán dẫn, điều quan trọng nhất là năng lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Bạn không muốn năng lượng đó lan sang các bộ phận khác của máy móc.
Vấn đề là các đèn hồng ngoại thông thường tỏa nhiệt ra mọi hướng, 360 độ. Khi hoạt động trong không gian hẹp, các bức tường bên trong buồng xử lý sẽ hấp thụ toàn bộ nhiệt lượng dư thừa này. Điều này gây ra nhiều vấn đề. Trong trường hợp xấu nhất, các bộ phận kín của máy có thể bị hư hỏng, hoặc người vận hành có thể bị bỏng do bề mặt máy quá nóng.
Làm thế nào để khắc phục vấn đề này?
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng công nghệ hồng ngoại có khả năng chiếu nhiệt theo một hướng cụ thể. Thay vì sử dụng lớp vỏ thủy tinh trong suốt, chúng tôi sử dụng các lớp phủ hoặc vật liệu phản xạ chuyên dụng để đưa năng lượng hồng ngoại đến chính vị trí cần thiết – tức là bề mặt wafer.
Việc này giúp tập trung năng lượng, từ đó ngăn chặn việc nhiệt lượng lan sang các bộ phận khác của máy. Nhưng bạn cần phải điều chỉnh khoảng cách sao cho phù hợp. Đó là sự cân bằng giữa công suất của đèn và vị trí mà vật liệu phản xạ tập trung năng lượng. Nếu bạn đặt đèn quá gần, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Còn nếu đặt đèn quá xa, năng lượng sẽ lan ra ngoài, gây hại cho các bộ phận bên trong máy.
Những điều cần lưu ý:
Phương pháp làm nóng theo hướng cụ thể không phải là giải pháp hoàn hảo. Mặc dù các bức tường vẫn giữ được độ lạnh, nhưng năng lượng nhiệt vẫn tập trung trực tiếp lên bề mặt wafer. Điều này đòi hỏi hệ thống điều khiển PID phải có khả năng xử lý tốt những thay đổi về nhiệt độ nhanh chóng. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh, nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn.
Nếu bạn muốn đạt được kết quả tốt nhất, hãy sử dụng các vật liệu phản xạ được phủ bằng vàng. Chúng có khả năng phản xạ năng lượng hồng ngoại rất tốt, giúp giữ nhiệt độ ở mức cần thiết.
Lưu ý rằng: công suất đèn càng cao, bạn càng cần phải chú ý đến việc điều chỉnh vị trí của đèn. Chỉ cần sai lệch vài milimét thôi cũng có thể khiến nhiệt lượng lan sang các bộ phận khác của máy. Đó là sai lầm mà bạn không nên mắc phải.