Lựa chọn bộ phản xạ sóng hồng ngoại phù hợp để sấy khô wafer
Khi sấy khô wafer, bạn cần nhiệt lượng – và nhiệt lượng đó cần được kiểm soát một cách chính xác. Nhưng bạn không thể chỉ dùng năng lượng để làm nóng bề mặt wafer một cách ngẫu nhiên; điều này đặc biệt quan trọng nếu bạn muốn đảm bảo quy trình sấy diễn ra một cách sạch sẽ và thân thiện với môi trường.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các loại đèn sóng ngắn kết hợp với bộ phản xạ sóng hồng ngoại có hiệu suất cao. Đây là giải pháp hoàn toàn khác biệt so với lò sấy thông thường. Thay vì làm nóng toàn bộ buồng sấy như một chiếc lò nướng khổng lồ, ánh sáng hồng ngoại sẽ tập trung trực tiếp vào bề mặt wafer.
Tại sao bộ phản xạ lại quan trọng?
Thực tế, một chiếc đèn sấy riêng lẻ có hiệu suất khá kém. Nó phát ra năng lượng theo mọi hướng – 360 độ. Nếu không có bộ phản xạ, bạn sẽ lãng phí một nửa công suất để làm nóng khung máy. Đó chắc chắn không phải là cách sử dụng điện năng hiệu quả.
Chúng tôi thiết kế bộ phản xạ sao cho có thể thu hồi lại năng lượng bị lãng phí và phản xạ nó trở lại vào bề mặt wafer. Điều này giúp tăng mật độ nhiệt và rút ngắn thời gian sấy khô. Bạn sẽ đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, tức là tiết kiệm năng lượng hơn cho mỗi wafer. Rất đơn giản phải không?
Chi tiết về chất liệu và nhiệt độ
Chúng tôi sử dụng bề mặt bằng nhôm có độ tinh khiết cao hoặc bề mặt được phủ vàng, vì chúng có khả năng phản xạ sóng hồng ngoại tốt nhất.
Nhưng hình dạng của bộ phản xạ cũng rất quan trọng. Nếu độ cong của bộ phản xạ sai vài milimét, bạn sẽ gặp phải tình trạng nóng không đều trên bề mặt wafer. Điều này dẫn đến việc wafer bị biến dạng. Bạn cũng cần chú ý đến độ chính xác của các thông số kỹ thuật. Những chiếc đèn này có thể sản sinh ra nhiệt độ cực cao. Nếu bộ phản xạ không được thiết kế đúng cách hoặc không thể chịu được sự giãn nở nhiệt, nó sẽ bị biến dạng. Khi đó, điểm tập trung nhiệt sẽ thay đổi, và hiệu suất sản xuất sẽ giảm sút.
Sử dụng công nghệ không chứa chì – nhưng cũng có những hy sinh
Việc chuyển sang sử dụng công nghệ sấy khô bằng sóng hồng ngoại thực sự là một giải pháp tốt. Bạn có thể loại bỏ việc sử dụng chất dung môi và các chất cách nhiệt chứa chì. Đây là quy trình sấy sạch sẽ và không gây ô nhiễm. Chỉ cần bật công tắc, bạn sẽ có nhiệt lượng ngay lập tức, mà không gây ra bất kỳ khí thải nào.
Nhưng đây không phải là giải pháp hoàn hảo. Vẫn có một số nhược điểm. Sóng hồng ngoại có khả năng tập trung nhiệt rất chính xác, nhưng nó không thể tạo ra sự đồng đều nhiệt như lò sấy thông thường. Bạn cần mất thời gian để điều chỉnh khoảng cách giữa đèn và wafer, cũng như góc phản xạ của bộ phản xạ, để tránh làm cháy các mép của wafer.
Lưu ý: Nếu bạn tăng công suất đèn quá cao mà không điều chỉnh đúng khoảng cách tập trung nhiệt, bạn sẽ gặp phải tình trạng quá nhiệt tại một điểm cụ thể. Việc điều chỉnh này đòi hỏi sự tỉ mỉ và chính xác cao.