Ngăn chặn nguy cơ vỡ ống thủy tinh: Bảo vệ các tấm wafer khỏi những hậu quả nghiêm trọng
Trong môi trường sản xuất bán dẫn với công suất cao, việc ống thủy tinh bị vỡ không chỉ gây ra sự gián đoạn trong quá trình sản xuất, mà còn tạo ra một tình huống tồi tệ. Khi ống thủy tinh bị vỡ, nó không chỉ ngừng hoạt động, mà còn khiến các mảnh thủy tinh và chất hóa học rơi xuống bề mặt các tấm wafer. Điều này gây ra sự lộn xộn lớn. Chính vì vậy, chúng tôi thiết kế các thiết bị sưởi ấm sao cho có thể ngăn chặn nguy cơ này từ trước.
Tại sao ống thủy tinh lại bị vỡ?
Hầu hết các trường hợp, nguyên nhân là do áp lực nhiệt. Khi chiếu sáng với công suất tối đa, phần giữa ống thủy tinh sẽ trở nên cực kỳ nóng, trong khi hai đầu của ống vẫn ở mức nhiệt thấp hơn. Sự chênh lệch nhiệt độ này tạo ra áp lực lớn bên trong ống thủy tinh. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng loại thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này ít giãn nở hơn so với loại thủy tinh rẻ tiền, vì vậy ống thủy tinh vẫn giữ được tính ổn định ngay cả khi phải hoạt động với công suất cao.
Chúng tôi cũng chú ý đến phần đầu của ống thủy tinh. Những chi tiết được hàn kém chất lượng thường là những phần dễ bị vỡ nhất dưới áp lực. Chúng tôi đã điều chỉnh thiết kế các chi tiết này để chúng bền hơn, giúp tránh được nguy cơ vỡ ống thủy tinh trong quá trình hoạt động với công suất cao.
Biện pháp bảo vệ
Dù sao thì tai nạn vẫn có thể xảy ra. Ngay cả những ống thủy tinh tốt nhất cũng có thể bị hỏng. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ bằng thủy tinh có độ truyền ánh sáng cao hoặc lưới bảo vệ. Điều này giống như một “bảo hiểm” vậy. Nếu ống thủy tinh bị vỡ, lớp vỏ bảo vệ sẽ giúp giữ lại các mảnh vỡ, giúp các tấm wafer vẫn giữ được vẻ sạch sẽ và quy trình sản xuất vẫn có thể tiếp tục.
Nhược điểm
Tuy nhiên, việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ sẽ gây ra một chút sự cản trở về mặt nhiệt độ. Bạn sẽ mất đi một chút công suất chiếu sáng so với việc sử dụng ống thủy tinh thông thường. Bạn cần điều chỉnh lại thông số công suất hoặc kéo dài thời gian khởi động để bù đắp cho điều này. Đó là cái giá nhỏ để tránh phải bỏ đi cả lô sản phẩm wafer kích thước 12 inch.
Mẹo cuối cùng: Hãy kết hợp các thiết bị này với hệ thống điều khiển PID chính xác. Đừng chỉ tăng điện áp để “ép” nhiệt qua lớp vỏ bảo vệ – điều này sẽ làm hỏng các sợi dây tóc bên trong ống thủy tinh. Hãy giữ điện áp ổn định, như vậy thiết bị của bạn sẽ hoạt động tốt hơn trong thời gian dài.