Waferlerin Kurutulması İçin Doğru IR Yansıtıcıların Seçilmesi
Waferleri kurutmak için ısı gereklidir ve bu ısının doğru şekilde uygulanması şarttır. Ancak, özellikle her şeyin temiz ve çevre dostu olmasını istiyorsanız, yüzeye doğrudan enerji göndermek yeterli değildir.
İşte bu yüzden yüksek yansıtma özelliğine sahip IR yansıtıcılar kullanıyoruz. Bu yöntem, konveksiyon fırınlarından tamamen farklıdır. Konveksiyon fırınlarında tüm oda ısıtılırken, IR ışınları doğrudan wafer yüzeyine yönlendirilir.
Yansıtıcıların Neden Önemli Olduğu
Aslında, tek başına bir kurutma lambası oldukça verimsizdir; enerjiyi her yöne, 360 dereceye yayar. Yansıtıcı olmadan, gücünüzün yarısını makinenin yapısını ısıtmak için harcarsınız. Bu da elektriği verimli kullanmak anlamına gelmez.
Bizim yansıtıcılarımız, bu israf edilen enerjiyi yakalayıp tekrar wafer üzerine yansıtarak ısı akış yoğunluğunu artırır. Böylece hedef sıcaklığa daha hızlı ulaşılır ve her wafer için daha az enerji kullanılır. İşte bu kadar basit.
Malzemeler ve Isı
Yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplama yüzeyler kullanıyoruz; çünkü bunlar kısa dalga boyundaki IR ışınlarını en iyi şekilde yansıtabilir.
Ancak geometri de mükemmel olmalıdır. Eğer eğri birkaç milimetre bile yanlış olursa, aşırı ısınmalar meydana gelir. Bu durumda waferler düzgün şekilde kurumaz veya daha kötüsü,形变 olur.
Ayrıca toleranslara da dikkat etmek gerekir. Bu lambalar son derece sıcak olur. Eğer yansıtıcılar uygun şekilde havalandırılmazsa veya termal genişlemeyi kaldıramazsa, şekilleri bozulur. Böylece odak noktası değişir ve verimlilik düşer.
Kurşunsuz Çözümler ve Bunların Getirdiği Zorluklar
IR teknolojisine geçmek gerçekten harika bir çözümdür. Çözücülü ısıtma yöntemlerinden ve kurşun içeren malzemelerden kurtulabilirsiniz. Bu, temiz ve kuru bir işlemdir. Anahtarı çevirdiğinizde anında ısı elde edilir ve hiçbir emisyon olmaz.
Ancak bu bir sihir değildir. Bazı zorluklar vardır. IR teknolojisi çok hassastır, ancak zorlu hava fırınlarında elde edilen o “eşit ısı dağılımını” sağlayamaz. Lamba ile wafer arasındaki mesafeyi ayarlamak ve yansıtıcı açısını düzenlemek gerekmektedir ki kenarlar yanmasın.
Bir uyarı: Eğer odak uzunluğunu ayarlamadan gücü çok yüksek tutarsanız, lokal aşırı ısınmalar meydana gelir. Mükemmel sonuçlar elde etmek için biraz ustalık gereklidir.