MEMS Waflarını Sorunsuz Bir Şekilde Kurutmak
Eğer daha önce MEMS sensör waflarıyla uğraştıysanız, bunun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Küçük bir su lekesi ya da kurutma sırasında aşırı mekanik baskı, tüm partiyi berbat edebilir. Isıya ihtiyaç vardır, ancak bu ısının doğru şekilde uygulanması gerekiyor.
İşte bu yüzden kısa dalga uzunluklu kızılötesi ışığı kullanıyoruz. Tüm odadaki havayı ısıtmak için zaman kaybetmek yerine, kızılötesi ışık enerjisini doğrudan wafer yüzeyine yönlendiriyor. Bu yöntem daha temiz, daha hızlı ve mantıklıdır.
Donanımı “Akıllı” Hale Getirmek
Modern üretim tesislerinde, sadece bir düğmeye basıp en iyisini ummak yeterli değildir. Kızılötesi ışık dizilerini dijital sistemlere bağlarız. Bu sistemlerin avantajı, neredeyse anında ısınabilmeleridir. Bu hız sayesinde, ısının wafer üzerinde nasıl yayıldığını gerçek zamanlı olarak görebiliriz. Bu veriler doğrudan PLC’ye gönderilir; böylece wafer üzerindeki her sensör aynı hızda kurur. Tahmin yapmaya gerek kalmaz.
Dengeyi Sağlamak
Ancak bir sorun var: İhtiyacımız olan ısı yoğunluğunu elde etmek için genellikle yüksek güçlü kuvars lambalar kullanılır. Ancak bu kadar çok enerjiyi küçük bir alana sıkıştırdığımızda, o alan hızla ısınır. Eğer kurutma hedeflerine ulaşmak istiyorsanız, soğutma sisteminin de mükemmel olması gerekir. Soğutma yetersiz kalırsa, waferler bozulur ve bu da hiç kimsenin istemediği bir durumdur.
Eski Yöntemleri Terk Etmek
Ayrıca, eski ve verimsiz rölelerden de vazgeçtik. Artık gücü kontrol etmek için PWM (Darbe Genişlik Modülasyonu) kontrolleri kullanıyoruz. Bu sayede daha düzgün ve lineer bir kontrol sağlanıyor. Waferın kalınlığını değiştirmek isterseniz, yazılımda gerekli ayarlamaları yapmanız yeterlidir. Proje değiştikçe her seferinde donanımı değiştirmenize gerek yoktur. Bu, eski konveksiyon yöntemlerine kıyasla çok daha iyi bir çözümdür.
Sonuç olarak, doğrudan kızılötesi ışık kullanmak en iyi çözümdür. Kurutma süreleri kısalır, ekipmanın kapladığı alan azalır ve daha temiz waflar elde edilir. Böylece üretim süreci daha verimli hale gelir.