Yarı yıkama aşamalarında enerji kaybını durdurmak
Dürüst olalım: Bir wafer’ı kurutmak için tüm havayı ısıtmak tam bir israf. Bu, tek bir fincan kahveyi ısıtmak için tüm evi ısıtmaya benzer. Geleneksel konveksiyon veya dirençli ısıtma sistemleri ise enerjiyi boşa harcar.
İşte bu yüzden su geçirmez kızılötesi (IR) lambalara geçtik. Bu lambalar hava yerine doğrudan wafer’in yüzeyini ısıtır. Bu, ısıyı kullanmanın çok daha akıllıca bir yoludur.
Karbon emisyonlarını ve maliyetleri azaltmak
“Yeşil fabrika” hedeflerine ulaşmak istiyorsanız, enerjinin nereye gittiğine dikkat etmelisiniz. Geleneksel fırınlar ısıyı her yere saçar. Enerjiyi gereken yerde yoğunlaştırarak, her wafer için gereken kilovatsaat miktarını azaltabilirsiniz. Ayrıca, sistemin çalışması için uzun süre beklemenize veya boşta kalırken enerji harcamanıza gerek yoktur. Böylece karbon ayak iziniz azalır ve verimliliğiniz artar. Bu hem kazançlı hem de avantajlıdır.
Karmaşayla başa çıkmak
Yıkama aşamaları oldukça zorlu olabiliyor. Yüksek nem, kimyasal buharlar ve su vardır. Eğer buraya standart kuvars tüpleri yerleştirilirse, bunlar kısa devre yapar veya oksitlenir. Bunun önüne geçmek için bu lambaları su geçirmez kaplamalarla koruyoruz. Böylece su sızıntısı olmaz ve lambalar erken bozulmaz. Sadece güvenilir ısı elde edilir. Kullandığınız kimyasallara bağlı olarak genellikle kısa dalga veya orta dalga IR lambalarını tercih ederiz. Kısa dalga lambalar, nem tabakalarını daha hızlı deler; bu sayede waferler çok daha kısa sürede kurur.
Dikkat edilmesi gerekenler
Bu sistem “sadece fişi takın ve unutun” şeklinde değildir. Yüksek yoğunluktaki IR lambalar çok fazla ısı üretir. Eğer soğutma fanlarını ve ısı emicilerini doğru şekilde ayarlamazsanız sorunlar yaşarsınız. Lambanın kapsülü aşırı ısındığı için sensörlerin yanlış ölçüm yapmasını istemezsiniz.
Küçük bir ipucu: Kapalı döngülü PID kontrol cihazları kullanın. Bu sayede her şey stabil kalır ve waferler yanmaz. Ayrıca, güç kaynağınızın sabit olduğundan emin olun. Gerilim dalgalanmaları kuvars kapsülünün zarar görmesine neden olabilir ve bu da kimse istemediği bir durumdur. Ancak kablolar ve soğutma sistemi düzgün şekilde ayarlandığında, bu sistemler eski ısıtma sistemlerinin yerine temiz ve verimli bir alternatiftir.