Parçalanmayı Durdurun: Ozonsuz IR Lambalarla Wafer’lerinizi Temiz Tutmak
Yüksek kapasiteli üretim süreçlerinde, bir lambanın patlaması sadece bir “teknik arıza” değildir; bu bir kabus gibidir. Kuvars tüpünde meydana gelen tek bir çatlak bile, cam parçalarının ve kimyasalların silikon yüzeylerine düşmesine neden olur. Böylece tüm ürünler boşa gider. Bu, baştan doğru tasarım yapılırsa tamamen önlenebilecek pahalı bir hatadır.
Ozon sorunu
Çoğu kısa dalga boylu lamba, yaklaşık 185 nm civarında radyasyon yaymaktadır. Sorun şu ki, bu radyasyon oksijenle reaksiyona girerek ozon oluşturur. Yarı iletken üretiminde ozon, aslında oldukça zararlı bir maddedir.
Bunu, bu VUV dalga boylarını filtreleyen özel kuvars kılıflar kullanarak çözüyoruz. Bu sayede hava dengeli kalır ve wafer yüzeylerinin okside olması engellenir. Çok basit.
Tüpün sağlamlığını korumak
Bu lambaları maksimum güçte çalıştırmak, kuvarsa büyük miktarda ısı baskısı uygular. Eğer malzeme soğuktan aşırı sıcağa geçişe dayanamazsa,形变 olur ve ardından çatlar. İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu tür malzemeler, ucuz malzemelere kıyasla çok daha az genişler veya büzülür; bu sayede aşırı yük altında bile stabil kalır.
Ancak bir ipucu: Maksimum güçte çalışırken sadece kuvarsa güvenmeyin. Şok koruma özellikli kılıflar veya kaplama sistemleri kullanın. Bunları bir tür sigorta olarak düşünün. Eğer filament patlarsa veya cam kırılırsa, bu bariyerler parçaların ürününüze ulaşmasını engeller.
Montaj elemanlarına dikkat edin
Bu tüpler çok fazla ısı üretir ve bu ısı, montaj noktalarında birikme eğilimindedir. İşte burada birçok insan hata yapar. Eğer montaj braketleri çok sıkıysa, camın genişlediğinde gitmesi için yer kalmaz ve cam kırılır. Lambalara biraz hareket alanı verin. Yüzer montaj sistemleri kullanın ve biraz boşluk bırakın. Böylece donanım, 24/7 çalışma koşullarında zarar görmez ve üretim süreci devam eder.