Het goed instellen van de IR-reflectoren voor het drogen van wafern
Wanneer je wafern wilt drogen, heb je warmte nodig – en die moet precies op de juiste manier worden geleverd. Maar je kunt niet zomaar energie op het substraat sturen en hopen op het beste resultaat, vooral niet als je wilt voorkomen dat het materiaal vuil wordt of als je milieuvriendelijk wilt werken.
Daarom maken we gebruik van kortegolflampen in combinatie met IR-reflectoren met hoge reflectiekracht. Dit is totaal anders dan het gebruik van een convectiekookoven: in plaats van de hele kamer op te warmen, gaat de IR-energie rechtstreeks naar het oppervlak van de wafer.
Waarom de reflector belangrijk is
Een lamp alleen is vrij inefficiënt: hij stuurt energie in alle richtingen – 360 graden. Zonder reflector gaat er dus de helft van de energie verloren aan het opwarmen van het frame van de apparatuur. Dat is geen efficiënte manier om elektriciteit te gebruiken.
We ontwerpen onze reflectoren zodat ze deze verspilde energie kunnen vangen en deze terugkaatsen naar de wafer. Hierdoor neemt de hitteintensiteit toe en worden de tijd die nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken, verkort. Je bereikt de gewenste temperatuur sneller, waardoor er minder energie per wafer wordt verbruikt. Simpel gezegd.
De details: materialen en warmte
We gebruiken aluminium of goudcoated oppervlakken van hoge zuiverheid, omdat deze het beste in staat zijn om kortegolflicht terug te kaatsen.
Maar de geometrie moet perfect zijn. Als de curve zelfs maar een paar millimeter afwijkt, ontstaan er hete punten op het oppervlak van de wafer. Dat is een groot probleem: de wafer wordt dan onevenmatig gedroogd of zelfs beschadigd.
Je moet ook goed opletten met de toleranties. Deze lampen worden ontzettend heet. Als de reflector niet goed wordt gekoeld of de thermische uitzetting niet kan worden bedwongen, zal de reflector beschadigen. Zodra dit gebeurt, verandert de focuspunt en neemt de kwaliteit van het product af.
Het overstappen op leidvrije technologieën (en de nadelen)
Het overstappen op IR-technologie is een grote verbetering. Je hoeft geen oplosmiddelen meer te gebruiken en ook geen vervuilende materialen die lood bevatten. Het is een schone en droge proces. Je hoeft alleen maar een schakelaar om te zetten, en je hebt meteen warmte, zonder emissies.
Maar het is geen magie. Er zijn ook nadelen. IR-technologie is zeer nauwkeurig, maar het heeft niet dezelfde uniformiteit als een convectiekookoven. Je moet de afstand tussen de lamp en de wafer precies instellen, evenals de hoek van de reflector, zodat de randen van de wafer niet beschadigen.
Let op: als je de watertoevoer te hoog zet zonder de focale afstand aan te passen, zal het oppervlak van de wafer oververhit raken. Het vereist wat precisie om het perfect te krijgen.