Stop de scherven: houd je wafers schoon met ozonvrije IR-lampen
Tijdens een productieproces met hoge belasting is het niet zomaar een “technisch probleem” wanneer een lamp kapotgaat. Het is een nachtmerrie. Eén barst in de kwartsbuis zorgt er namelijk voor dat er glasscherven en chemicaliën op de siliciumwafers terechtkomen. Op die manier is al je productie weg. Het is een dure fout die volledig te voorkomen is als je vanaf het begin goed ontwerpt.
Het probleem met ozon
De meeste kortegolflampen geven straling af bij een golflengte van ongeveer 185 nm. Het probleem? Deze straling reageert met zuurstof tot ozon. In een halfgeleiderapparaat is ozon een ernstige vijand voor de apparatuur.
We lossen dit op door gebruik te maken van een speciaal kwartsomhulsel dat deze UV-stralen filtert. Hierdoor blijft de lucht stabiel en wordt voorkomen dat de oppervlakken van de wafers oxideren. Simpel.
Houd de buis intact
Het gebruik van deze lampen op maximale vermogen zorgt voor veel hitteopbouw in de kwartsbuis. Als het materiaal deze warmte niet kan verdragen, zal het vervormen. Dan zal de buis barsten.
Daarom gebruiken we hoogzuiver synthetisch kwarts. Dit materiaal rekt of krimpt nauwelijks, zodat het stabiel blijft, zelfs onder zware belasting.
Maar hier is nog een tip: vertrouw niet alleen op het kwarts wanneer je de lampen op maximale vermogen gebruikt. Je hebt echt een beschermend omhulsel nodig. Stel je het voor als een soort verzekering: als het filament kapotgaat of de glasbuis breekt, vangt het omhulsel de scherven op, zodat ze je producten niet raken.
Kijk goed uit met de bevestigingen
Deze buizen genereren veel hitte, en deze hitte verzamelt zich vaak op de plekken waar de buis wordt bevestigd. Hier maken veel mensen fouten. Als de bevestigingen te strak zijn, heeft het glas nergens ruimte om zich uit te rekken. Dan zal het breken.
Geef de lampen wat ruimte. Gebruik flexibele bevestigingen en laat wat ruimte over. Hierdoor wordt voorkomen dat de apparatuur beschadigd raakt tijdens 24/7 gebruik, en blijft je productielijn draaien.