Hou op met je zorgen maken over lampproblemen tijdens het drogen van wafer’s.
In een fabriek met hoge drukken is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand die hierdoor ontstaat. Als een infraroodbuis kapotgaat terwijl deze zich boven een wafer bevindt, zitten er overal scherpe glassplinters en chemische resten. Eén dergelijke storing kan al een hele batch wafer’s verwoesten.
We hebben onze IR-drooglampen zo ontworpen dat dit niet kan gebeuren.
Het glas op zijn plek houden
We beginnen met hoogzuiver gefusioneerd kwarts. Dit materiaal is zeer stevig en kan de schokken die komen bij het opwarmen en afkoelen veel beter verdragen dan goedkoper materiaal.
Maar we stopten hier niet bij. We voegen ook een beschermende laag toe rondom de buis. Denk hierbij aan een soort ‘veiligheidsnet’. Als het filament kapotgaat en de buis barst, blijven de fragmenten binnenin de laag zitten, in plaats van op de wafer’s terecht te komen.
Het probleem met tungsteen
Als tungsteen zich op de wanden van de buis ophoopt, ontstaan er hete plekken. Deze hete plekken zorgen voor spanningen, die weer leiden tot barsten in de buis. We hebben de interne halogencyclus zo aangepast dat alles in balans blijft. De warmte wordt gelijkmatig verdeeld over de hele buis, zodat deze niet onder druk breekt.
Stroom, warmte en de werkelijke omstandigheden
Stroompieken zijn de ‘stille moordenaar’ in de meeste fabrieken. Ze maken dat lampen te vroeg kapotgaan. We hebben de toleranties voor spanningen aangescherpt en ervoor gezorgd dat alle verbindingen goed passen. Er mag geen contactweerstand zijn, en de apparaten mogen niet te heet worden.
Het gebruik in de fabriek
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden geïnstalleerd. De afmetingen passen bij de standaarddroogrekken die je al gebruikt, zodat je geen weekend hoeft te besteden aan het herconfigureren van het hele systeem.
Door ons te richten op de chemie van het kwarts en de fysieke constructie van de lampen, hebben we het risico van lampproblemen flink verminderd. Je kunt gewoon weer verder werken.