Waarom goudgecoate reflectoren belangrijk zijn voor uw wafers
In de wereld van semiconductiefabricage betekent energieverlies feitelijk geld verspillen. Het verlaagt uw productiecapaciteit. Daarom gebruiken we goudgecoate reflectoren op onze IR-lampen. In plaats van dat warmte naar achteren ontsnapt, sturen we deze precies waar het nodig is: rechtstreeks op het oppervlak van de wafer.
Het voordeel van goud
De meeste mensen beginnen met aluminium, maar hier ligt het probleem: aluminium werkt niet goed bij lange- en middellange golflengten IR. Het neemt te veel energie op.
Goud is anders. We gebruiken een dunne laag goud, omdat dit de energie veel efficiënter weerkaatst. Hierdoor komt er meer energie terecht op het doeloppervlak en minder energie verwarmt de behuizing van de machine. Het maakt zo van een gewone lamp een precisiewarmtestool.
Let op de vermogensdichtheid
Bij het kiezen van deze lampen moet u goed opletten op het verhoudingsgetal tussen vermogen en oppervlakte. Lampen met hoog vermogen zetten een enorme hoeveelheid energie in een klein gebied vast. Dit leidt tot een sterke hittezone. Als het koelsysteem de hitte die niet op de wafer terechtkomt, niet kan afvoeren, hebt u problemen. We hebben al gezien dat lampenklemmen en bedrading beschadigd raakten omdat de hitte nergens anders naartoe kon.
Het goed instellen in de machine
Deze lampen zijn bedoeld als eenvoudige vervangingen voor uw huidige IR-array’s. Maar het echte geheim zit in het brandpunt. We besteden veel tijd aan het zorgen dat de warmte gelijkmatig over de wafer wordt verspreid.
Als de lamp zelfs maar een paar millimeter verschuift, ontstaan er hete plekken. En hete plekken ruïneren alles.
Nog één ding: draag altijd handschoenen
Goudcoatings zijn zeer gevoelig. Als een technicus de reflector met blote handen aanraakt, zullen de oliën uit zijn huid zich bij het eerste opwarmen in het goud boren. Hierdoor ontstaat een permanente donkere vlek. Die vlek begint warmte op te nemen in plaats van deze weerkaatsen, waardoor de levensduur van de lamp wordt verkort en de thermische gelijkmatigheid verstoord raakt.
Houd ze schoon en draag handschoenen. Het is een kleine stap die grote problemen voorkomt.