반정도 세척 단계에서의 에너지 낭비를 막아보세요.
솔직히 말해, 웨이퍼를 건조시키기 위해 공기 전체를 가열하는 것은 낭비입니다. 마치 커피 한 잔을 데우기 위해 집 전체를 가열하는 것과 같죠. 기존의 대류식이나 저항식 가열 시스템들은 에너지를 그냥 방 안에 흩뿌릴 뿐입니다.
그래서 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 공기를 가열하는 대신 웨이퍼 표면에 직접 열을 전달합니다. 이는 훨씬 더 효율적인 방식입니다.
탄소 배출 및 비용 절감
“친환경 공장”이라는 목표를 달성하려면 에너지가 어디로 가는지 반드시 확인해야 합니다. 기존의 오븐들은 열을 여기저기 흩뿌립니다. 하지만 에너지를 필요한 곳에 집중시키면, 웨이퍼당 필요한 전력량을 줄일 수 있습니다. 게다가, 시스템이 작동할 때까지 기다릴 필요도 없고, 유휴 상태에서 에너지를 낭비할 필요도 없습니다. 그 결과 탄소 발자국이 줄어들고 효율성도 높아집니다. 일석이조입니다.
혼란을 해결하기
세척 단계에서는 습도가 높고 화학물질 증기와 수분이 곳곳에 존재합니다. 일반적인 석영관을 사용하면 고장이 나거나 산화될 수 있습니다.
이를 막기 위해 우리는 특수한 방수 케이스와 내습성이 뛰어난 단자를 갖춘 램프를 사용합니다. 그러면 물이 들어오거나 램프가 과열되는 일이 없습니다. 단지 신뢰할 수 있는 열만이 생성됩니다.
사용하는 화학물질에 따라 단파나 중파 적외선을 사용합니다. 단파는 수분층을 더 빠르게 관통하기 때문에, 웨이퍼가 훨씬 빨리 건조됩니다.
주의해야 할 점
이것은 그냥 꽂아놓고 잊어버리면 되는 장비가 아닙니다. 고밀도 적외선은 많은 열을 발생시킵니다. 만약 냉각팬과 히트싱크를 제대로 설치하지 않으면 문제가 생길 수 있습니다. 램프 케이스가 너무 뜨거워져서 센서의 데이터가 왜곡될 수도 있습니다.
쉬운 팁: 폐쇄형 PID 컨트롤러를 사용하세요. 이를 통해 모든 것이 안정적으로 유지되어 웨이퍼가 과열되는 일이 없습니다.
또한, 전원 공급이 안정적인지 확인해야 합니다. 전압 변동으로 인해 석영관이 손상될 수 있으니까요. 하지만 배선과 냉각 시스템을 제대로 설정하면, 이는 기존의 불편한 가열 장비를 대체할 수 있는 훌륭한 솔루션이 됩니다.