웨이퍼 건조용 할로겐 IR 방출기
공정 현장에서의 중요한 사실 하나의 물자국만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 표준 건조 방식은 열 기울기를 남기며, 이 기울기가 수분을 가두게 됩니다. 이는 포토레지스트 접착이 실패하고 수율이 저하된다는 것을 의미합니다. 우리는 이러한 변동성을 없애기 위해 할로겐...
근적외선(NIR) 발광 전구
Role 당사 NIR 발광관은 단파장 에너지를 방출하며 빠르게 반응하고 스펙트럼 특성이 안정적이어서 온도 변화가 신속하고 반복 가능합니다. 베이크 존 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일성은 ±0.1°C 내에서 유지되어, 리소그래피의 핵심 치수를 보호하는 수준의 제어를 제...