왜 금 도금된 반사체가 웨이퍼에 있어서 중요한지
반도체 제조 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 마치 돈을 버리는 것과 같습니다. 이는 생산 효율을 떨어뜨립니다. 그래서 우리는 적외선 전구에 금 도금된 반사체를 사용합니다. 열이 뒤쪽으로 새어나가는 대신, 그 열을 웨이퍼 표면으로 직접 보냅니다.
금의 장점
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 문제는 알루미늄은 장파 및 중파 적외선에는 적합하지 않다는 점입니다. 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수하기 때문입니다.
반면 금은 다릅니다. 금의 얇은 층을 코팅함으로써 에너지를 훨씬 효율적으로 반사시킬 수 있습니다. 그 결과, 목표물에 더 많은 에너지가 도달하고, 기계의 본체가 가열되는 양은 줄어듭니다. 이렇게 해서 일반 전구가 정밀한 열 처리 도구로 변합니다.
전력 밀도를 주의 깊게 관리해야 합니다
이러한 전구를 선택할 때는 와트수와 표면적의 비율을 반드시 잘 확인해야 합니다. 고왓수의 전구는 작은 공간에 엄청난 양의 에너지를 집중시킵니다. 이로 인해 심각한 overheating 현상이 발생합니다. 만약 냉각 시스템이 웨이퍼에 닿지 않는 열을 감당할 수 없다면, 문제가 생깁니다. 우리는 열이 갈 곳이 없어서 전구 소켓과 배선이 손상되는 경우도 본 적이 있습니다.
기계 내부에서의 정확한 설치
이러한 전구는 현재 사용 중인 적외선 배열을 대체할 수 있는 간단한 부품입니다. 하지만 진짜 핵심은 초점 위치입니다. 우리는 열이 웨이퍼 전체에 고르게 분산되도록 하는 데 많은 노력을 기울입니다.
만약 전구가 몇 밀리미터라도 움직인다면, 과열된 부분이 생깁니다. 그리고 과열된 부분은 모든 것을 망쳐버립니다.
마지막으로, 반드시 장갑을 착용하세요
금 도금층은 매우 민감합니다. 기술자가 맨손으로 반사체를 만지면, 피부에서 나오는 오일이 금 표면에 남아 영구적인 어두운 자국을 남깁니다. 그 자국은 더 이상 빛을 반사하지 못하고 열을 흡수하기 시작하여 전구의 수명을 단축시키고 열 분포를 방해합니다. 반드시 청결하게 유지하고 장갑을 착용하세요. 이것은 작은 조치지만 큰 문제를 예방할 수 있습니다.