근적외선(NIR) 발광 전구

Role 당사 NIR 발광관은 단파장 에너지를 방출하며 빠르게 반응하고 스펙트럼 특성이 안정적이어서 온도 변화가 신속하고 반복 가능합니다. 베이크 존 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일성은 ±0.1°C 내에서 유지되어, 리소그래피의 핵심 치수를 보호하는 수준의 제어를 제...