공기를 가열하는 대신, 직접 부품을 가열합시다.
반도체 공장에서 글로브박스 내부를 가열하는 것은 정말 어려운 일입니다. 일반적인 대류식 히터를 사용하면 결국 공기만 따뜻해집니다. 그 따뜻해진 공기가 벽에 부딪히고, 곧이어 기계의 외부가 너무 뜨거워져 작업자가 다치거나 민감한 전자부품이 손상될 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황입니다.
우리는 더 나은 방법을 찾았습니다. 바로 방향성 적외선 기술입니다.
작동 원리
마치 손전등과 같지만, 열을 발생시키는 방식입니다. 적외선 램프는 따뜻한 공기를 공간 전체에 퍼뜨리는 대신, 전자기파를 직선으로 방출합니다. 그 에너지는 공기를 무시하고 목표물에 직접 도달합니다. 초점 거리와 위치를 적절히 조절함으로써, 열이 부품에만 전달되고 글로브박스의 벽은 그대로 남아 있습니다. 그 결과, 목표물은 뜨거워지지만 기계의 외부는 여전히 시원한 상태를 유지합니다.
세부 사항
우리는 보통 단파 석영 소자를 사용합니다. 왜냐하면 이 소자는 거의 즉시 반응하기 때문입니다. 고출력 적외선 소자를 사용하면 아주 작은 공간에 엄청난 양의 열이 생성됩니다. 하지만 소자를 어디에 위치시킬지는 신중해야 합니다. 만약 램프가 글로브박스의 반사층에 너무 가까이 있다면, 밀봉재가 녹을 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 반사율을 조절할 수 있는 보호 장치를 사용합니다. 이를 통해 열이 목표물에만 집중됩니다.
안전성과 작동 유지
가장 좋은 점은 더 이상 기계의 외부에 두꺼운 절연재를 사용할 필요가 없다는 것입니다. 이로 인해 작업 공간이 더 안전해지고, 공간도 절약됩니다.
유지보수 시 주의할 점은, 석영 튜브는 매우 민감하다는 것입니다. 오일이 묻은 장갑이나 더러운 천으로 튜브를 만지면 문제가 생길 수 있습니다. 그러한 오염물질로 인해 튜브가 금방 손상될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해서는 철저한 청소가 필요하거나, 튜브 위에 보호용 커버를 씌우는 것이 좋습니다. 이는 간단한 해결책이지만, 장기적으로는 많은 문제를 줄여줍니다.