جلوگیری از نشت انرژی در مراحل شستشو
بیایید صادق باشیم: گرم کردن کل حجم هوا فقط برای خشک کردن ویفرها، اتلاف انرژی است. این مانند گرم کردن کل خانه فقط برای گرم کردن یک فنجان قهوه است. اکثر سیستمهای سنتی، انرژی را به طور بیهوده در اتاق پخش میکنند.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب روی آوردهایم. این لامپها به جای گرم کردن هوا، مستقیماً روی سطح ویفرها تأثیر میگذارند. این روش، روشی هوشمندانهتر برای مدیریت گرما است.
کاهش مصرف کربن و هزینهها
اگر میخواهید به اهداف «کارخانه سبز» دست یابید، باید بدانید که انرژی در کجا هدر میرود. فرهای سنتی، گرما را در همه جا پخش میکنند. با متمرکز کردن انرژی در جای مناسب، میتوانید میزان کیلوواتساعت مصرفی برای هر ویفر را کاهش دهید.
علاوه بر این، دیگر نیازی نیست منتظر بمانید تا سیستم کاملاً گرم شود؛ همچنین انرژی بیهوده هدر نخواهد رفت. این روش، راهکاری عالی برای کاهش اثرات زیستمحیطی و افزایش کارایی است.
مقابله با مشکلات ناشی از رطوبت
مراحل شستشو، شرایط بسیار دشواری دارند؛ رطوبت بالا، بخارات شیمیایی و رطوبت در همه جا وجود دارد. اگر از لولههای کوارتز معمولی استفاده کنید، آنها خراب خواهند شد.
برای جلوگیری از این مشکل، ما از لامپهایی با پوشش ضدآب و ترمینالهای مقاوم در برابر رطوبت استفاده میکنیم. این روش، از خرابی لامپها جلوگیری میکند.
بسته به نوع مواد شیمیایی مورد استفاده، ما معمولاً از لامپهای مادون قرمز موج کوتاه یا موج متوسط استفاده میکنیم. لامپهای موج کوتاه، به دلیل قدرت بیشتر، میتوانند رطوبت را سریعتر از بین ببرند؛ در نتیجه، ویفرها در زمان کمتری خشک میشوند.
مشکلات احتمالی
البته، این روش، روشی ساده نیست. لامپهای مادون قرمز، گرمای زیادی تولید میکنند؛ اگر فنهای خنککننده و سیستمهای خنککننده مناسبی نداشته باشید، مشکلاتی پیش خواهد آمد. همچنین، نباید اجازه دهید سنسورهای سیستم، به دلیل گرمای بیش از حد، دچار اختلال شوند.
یک نکته مهم: از کنترلکنندههای PID برای کنترل دما استفاده کنید؛ این کار، از اختلالات احتمالی جلوگیری میکند.
همچنین، مطمئن شوید که منبع تغذیه سیستم، پایدار باشد؛ تغییرات ناگهانی ولتاژ، میتواند لولههای کوارتز را خراب کند؛ اما با تنظیم صحیح سیستم، این مشکلات برطرف خواهد شد.