دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن دستگاههای گرمایشی باشید؛ چرا که لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا، بهتر از سیستمهای گرمایشی مبتنی بر هوای گرم عمل میکنند.
اگر در زمینه فرآوری نیمههادی کار میکنید، میدانید که بزرگترین مشکل، معمولاً فناوری نیست؛ بلکه زمان انتظار است. سالهاست که افراد از سیستمهای گرمایشی مبتنی بر هوای گرم استفاده کردهاند، اما مشکل اینجاست که این روش باعث تأخیر در گرم شدن دستگاهها میشود. به همین دلیل ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا روی آوردیم؛ چرا که با استفاده از تابش، میتوانیم این تأخیر را از بین ببریم.
مسئله اصلی، فیزیک است
فکر کنید چطور هوای گرم عمل میکند: ابتدا باید هوا گرم شود، سپس هوای گرم، محفظه را گرم کند، و در نهایت محفظه، ویفر را گرم کند. این یک واکنش زنجیرهای آهسته است.
لامپهای UHP چنین روشی را دنبال نمیکنند؛ آنها تابشات کوتاهامواج را ارسال میکنند که مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکند. به این ترتیب، زمان لازم برای گرم شدن ویفر از دقایق به چند ثانیه کاهش مییابد. این بدان معناست که میتوانید فرآیندهای تولید خود را سریعتر انجام دهید، بدون اینکه مجبور باشید منتظر بمانید تا دما به حالت پایدار برسد.
جزئیات مربوط به مواد
از آنجایی که در مورد اتاقهای پاک صحبت میکنیم، آلودگی یک مشکل بزرگ است. ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای ساخت این لامپها استفاده میکنیم؛ تا نیازی به نگرانی درباره آلودگی ویفرها نباشد.
اما باید مراقب باشید؛ چون انرژی زیادی در فضای بسیار کوچکی جمع میشود. ما این لامپها را طوری ساختهایم که مناسب ولتاژ و توان مورد نیاز شما باشند؛ اما باید به یاد داشته باشید که این نوع انرژی بسیار قوی است. اگر سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این انرژی نباشد، مشکلاتی مانند آسیب به لامپها پیش خواهد آمد. مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این گرما باشد.
فواید این روش برای فرآیندهای تولید
بهترین مزیت این روش این است که میتوانید از استفاده از لولههای بزرگ و فنهای پرسروصدا خلاص شوید. این کار باعث کاهش فضای مورد نیاز برای نصب دستگاهها میشود؛ که البته یک مزیت بزرگ است.
این یک تغییر ساده است؛ شما از روش گرمایشی آهسته و ناخوشایند، به روشی سریع و کنترلشده تغییر میدهید. برای هر کارخانهای که میخواهد تولید خود را افزایش دهد، این روش بهترین راه است.