적외선 웨이퍼 히터 램프 비용

리소그래피 작업장에서 시간은 분 단위로 측정하지 않고 수율로 측정한다. 웨이퍼가 트랙에 올라가고, 레지스트가 도포되며, 그 소프트 베이크는 라인폭 변동을 규격 내로 유지할 수 있을 만큼 매우 좁은 허용 오차 내에서 정확히 타겟에 도달해야 한다. 베이크 프로파일 하나가...