웨이퍼용 적외선 석영 램프

제조 현장에서는, 베이킹 온도가 0.5℃만 변해도 포토레지스트의 품질이 “규격 내”에서 “폐기용” 상태로 급격히 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 적외선 석영 램프는 단순한 열원에 그치지 않고, 리소그래피 및 포토레지스트 처리 공정에서 핵심적인 역할을 합니...