웨이퍼 건조용 할로겐 IR 방출기

공정 현장에서의 중요한 사실 하나의 물자국만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 표준 건조 방식은 열 기울기를 남기며, 이 기울기가 수분을 가두게 됩니다. 이는 포토레지스트 접착이 실패하고 수율이 저하된다는 것을 의미합니다. 우리는 이러한 변동성을 없애기 위해 할로겐...