웨이퍼 가공 공정용 온도 센서

고부하 웨이퍼 가공 장비에서의 치명적인 고장을 방지하기 위해 혹시 한 개의 램프가 고장 나면서 전체 작업물이 위험에 처한 적이 있나요? 고부하 웨이퍼 가공 과정에서 램프가 고장 나면, 단순히 해당 부품만 손상되는 것이 아니라, 챔버 내부에 오염물질이 생겨 전체 작업물...