AFM 原子間力顕微鏡 ヒーター

ファブフロアにおいて、Soft Bakeおよびウェーハ乾燥は誤差を許さない工程です。1℃の変動で重要寸法がずれ、トラップされた水分は欠陥への直結経路となります。AFMヒーターは、先進的なウェーハ処理が要求する熱予算内に日々収まるよう設計しました。 内部で重要なポイント 石英封入の短波赤外線を採用し...