なぜ、ファブランプのクォーツシールドが実際には命を救う存在なのか 多くの人は、ファブランプに使われているクォーツガラスは単に熱を耐えるためのものだと思っています。確かに、その役割もあります。しかし、その真の役割は、あなたが深刻なトラブルに見舞われないようにすることです。 つまり、それは高電圧のフィ...

なぜバイオセンサーの硬化にホットエアを使うのをやめるべきか もし今もバイオセンサーの硬化や乾燥にホットエアを使っているのであれば、おそらく大きなボトルネックに直面しているはずです。私はよくこの状況を見かけます。つまり、空気が流れるのを待っているだけであり、この業界では待つことは時間的にも経済的にも...

なぜ私たちが炭素繊維式の赤外線ランプを使うのか 半導体業界は、ようやく古いタイプの溶剤乾燥機や高排出量のヒーターを使わない方向に進んでいます。そろそろそうすべき時です。環境に優しく、鉛を含まない製品を作るために、私たちは炭素繊維式の赤外線ランプを採用しています。 一般的な対流式オーブンでは、まず空...

なぜバイオセンサーに赤外線を使用するのか？ バイオセンサーを作る際には、微妙なバランスを保つ必要があります。接着剤やポリマーを硬化させるためには十分な熱が必要ですが、熱を過度に与えてしまうと、生物学的な試薬がダメになってしまいます。つまり、非常に微妙なバランスが求められるのです。 そこで、私たちは...

ウェーハの硬化処理において、適切なIR反射器を選ぶことが重要です。ウェーハを硬化させるには熱が必要ですが、その熱は正確に与えられる必要があります。しかし、単にエネルギーを基板に当ててみるだけでは不十分です。特に、クリーンで環境に優しい処理を行いたい場合はなおさらです。 そのため、私たちは高反射率の...

ウェーハの硬化処理中にランプが故障する心配はもうしなくて済みます。 高圧環境下でランプが故障すると、それは大惨事です。単に停止時間が長くなるだけではありません。もし赤外線ランプがウェーハの上で破裂したら、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱してしまいます。一度でも故障すれば、大量のウェーハがダメに...

破片の発生を防ぐ：オゾンフリーのIRランプでウェーハをきれいに保つ 大量生産の際、ランプが壊れるというのは単なる「技術的なトラブル」ではありません。それはまさに悪夢です。 石英管にひびが入るだけで、ガラスの破片や化学物質がシリコンウェーハに降り注ぎます。そうなってしまうと、そのロット全体が無駄にな...

熱を本来あるべき場所に送るために：アルミニウム反射板の真実 スマートファブでは、熱というのはまるで手に負えない存在です。適切に制御しなければ、熱はあちこちに広がってしまい、通常は本来あるべきでない場所、つまり機械の筐体の中に入ってしまいます。だからこそ、高純度のアルミニウム反射板を使用するのです。...

なぜ、無鉛半導体の製造には金コーティングされた赤外線ランプが使われるのか？ 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の製品を目指す動きが活発です。理論上は素晴らしいことですが、実際の製造現場では大きな問題が生じます。従来の対流式オーブンは、空気やチャンバーの内壁を加熱するのに多くのエネルギーを消費してし...

半洗浄段階でのエネルギー漏れを防ぐ 正直に言って、ウェーハを乾燥させるためだけに大量の空気を加熱するのは無駄です。まるで、コーヒー1杯を温めるために家全体を温めるようなものです。従来の対流式や抵抗式の加熱装置は、エネルギーを無駄に部屋中に放出してしまいます。 そのため、私たちは防水機能付きの赤外線...

化学的な洗浄工程で赤外線ヒーターを使用することは、まるで火遊びのようなものです。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、腐食性のある物質も存在します。そうした環境では、普通の石英管を使うと問題が起きやすくなります。 だからこそ、私たちは二重管構造で、表面に金をコーティングした装置を使用しています。これは...

クラス100のクリーンルームを実際にきれいな状態に保つためには、どうすればよいのでしょうか？ クラス100の環境で作業を行うとき、加熱というのは、どれだけ多くの電力を部品に与えるかということではありません。重要なのは、何を与えないかということです。 一般的な加熱素子は、このような環境では使えません...

もう、ヒーターを待つ必要はありません。なぜUHP赤外線がホットエアより優れているのか 半導体製造に従事している人なら、最も大きな敵が技術そのものではなく、時間だということを知っているでしょう。特に、待ち時間という厄介な問題です。 長年、人々は強制送風式のシステムを利用してきましたが、問題点がありま...

はじめに 私たちがこの代替フィラメントを開発したのは、一つの目的のためです。それは、お客様が既に信頼しているアメリカや日本の有名ブランド製品と同等の性能を実現することです。つまり、安定した性能を提供し、単価を削減できるようにするのです。 これは「妥協的な解決策」ではありません。完全に互換性のある設...

リソグラフィーの工程では、インターポーザを加熱する際に0.1℃の温度変動があっても、それだけで重要な寸法制御が崩れてしまい、無駄にフォトレジストが廃棄されてしまいます。より多くの電力を使うことは解決策ではありません。必要なのは、繰り返し使用しても信頼できる、制御可能な熱源です。 内部で何が重要か...

製造現場では、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、フォトレジストの特性が「規格内」から廃棄対象になってしまうことをすぐに理解する必要があります。赤外線石英ランプは単なる熱源ではなく、リソグラフィーやフォトレジスト処理において重要な役割を果たします。私たちは、ウェーハ全体で±0.1℃の精度を保ち、重要...

Fabフロアにおいて、ポリイミドベイクは単なる熱処理工程ではない。これは仕様を満たすかロットを廃棄するかの境界線である。ソフトベイクまたはハードベイクの温度が2℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの管理やベイクによる残留応力がフォトレジスト積層体に直接影響を及ぼす。我々は赤外線ランプを、この...

ライン上では、バーンインオーブンが休みなく稼働している。ウェーハは熱ストレスのために順番待ちし、その後次の工程へ移る。加熱ランプに遅れが生じれば、ステーション全体が停止する。温度がずれれば歩留まりに影響が出る。バーンインにおいて、ランプは単なる部品ではなく、熱の要となる存在である。 このウェーハバ...

リソグラフィ工程では、時間を分単位で測るのではなく、歩留まりで測る。ウェハーがトラックに載り、レジストが塗布され、ソフトベイクはライン幅変動を規格内に収めるために、非常に厳密な時間枠内で目標通りに行う必要がある。焼成プロファイルがひとたびずれたり、ホットスポットが発生したりすると、ラインが徐々にず...