IRエミッタ用セラミックエンドキャップ
なぜ、その小さなセラミック製のエンドキャップが重要なのか IRエミッターに取り付けられているセラミック製のエンドキャップについて話しましょう。一見すると、単なるプラグのように見えます。しかし実際には、それがタングステンフィラメントと完全な電気的短絡を防ぐ唯一の障壁なのです。 高ワット数の電力を供給...
ウエハー乾燥用ハロゲン赤外線エミッタ
ファブフロアでは、単一の水跡がウエハーを殺すのに十分です。標準的な乾燥では熱勾配が残り、その勾配が湿気を閉じ込めます。これにより、フォトレジストの接着が失敗し、歩留まりが影響を受けます。私たちは、この変動を排除するためにハロゲンIRエミッターを開発しました。 実際に重要なこと エミッターは短波ハロ...
近赤外線 NIR エミッターバルブ
ファブフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5°Cの温度変動で大量のスクラップが発生することがある。プロセスカードが指定する箇所に正確な熱を供給する必要があり、それを連続して維持しなければならない。
内部で重要なポイント
当社のNIRエミッターバルブは短波長エネルギーを放射し、応答が速くスペクト...