Ngăn chặn sự tổn thất năng lượng trong các giai đoạn rửa wafer
Hãy thành thật mà nói: việc làm nóng toàn bộ không khí chỉ để sấy khô wafer thực sự là sự lãng phí năng lượng. Điều này giống như việc làm nóng cả ngôi nhà chỉ để hâm nóng một cốc cà phê vậy. Các hệ thống sưởi truyền thống thường lãng phí năng lượng một cách vô ích.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại chống thấm nước. Thay vì làm nóng không khí, những chiếc đèn này tập trung nhiệt lượng trực tiếp lên bề mặt wafer. Đây là cách hiệu quả hơn nhiều để sử dụng năng lượng.
Giảm lượng khí carbon thải và chi phí sử dụng điện
Nếu bạn muốn đạt được mục tiêu “nhà máy xanh”, bạn cần xem xét xem năng lượng được sử dụng vào đâu. Các lò nướng truyền thống thường lãng phí năng lượng ở khắp mọi nơi. Bằng cách tập trung năng lượng vào chính vị trí cần thiết, bạn có thể giảm lượng năng lượng tiêu thụ cho mỗi chiếc wafer.
Ngoài ra, bạn cũng không cần phải chờ đợi quá lâu cho đến khi hệ thống hoạt động ổn định, hay lãng phí năng lượng khi hệ thống đang ở trạng thái nghỉ. Hệ thống này hoạt động rất hiệu quả. Lượng khí carbon thải sẽ giảm, và hiệu suất hoạt động của hệ thống sẽ tăng lên. Đó là một giải pháp tuyệt vời.
Giải quyết vấn đề về bụi bẩn
Các giai đoạn rửa wafer rất khắc nghiệt: độ ẩm cao, khí hóa học, và hơi ẩm khắp nơi. Nếu sử dụng ống thủy tinh thông thường, chúng sẽ bị hỏng hoặc oxy hóa. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng những chiếc đèn được bao bọc trong vỏ chống thấm nước, với các đầu nối chống ẩm. Nhờ đó, không có nước xâm nhập vào bên trong đèn, và đèn sẽ hoạt động ổn định.
Tùy thuộc vào loại hóa chất được sử dụng, chúng tôi thường sử dụng đèn hồng ngoại tia ngắn hoặc tia trung bình. Tia ngắn rất hiệu quả vì nó có thể xuyên qua lớp hơi ẩm nhanh hơn, giúp wafer khô nhanh hơn.
Những điều cần lưu ý
Đây không phải là giải pháp đơn giản chỉ cần cắm điện vào là xong. Đèn hồng ngoại có mật độ nhiệt cao, nên nếu không có hệ thống làm mát phù hợp, chúng sẽ gây ra nhiều vấn đề. Bạn cũng cần đảm bảo nguồn điện ổn định. Những dao động điện áp có thể làm hỏng lớp vỏ thủy tinh của đèn. Nhưng một khi bạn đã sắp xếp tốt hệ thống dây điện và hệ thống làm mát, thì đây sẽ là giải pháp hiệu quả thay thế cho những bộ sưởi cồng kềnh truyền thống.