Ngăn chặn sự vỡ nứt: Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ bằng đèn hồng ngoại không chứa ozone
Trong quá trình sản xuất với công suất cao, việc đèn bị vỡ không chỉ là một “sự cố kỹ thuật” thông thường; đó thực sự là một thảm họa. Chỉ cần có một vết nứt trên ống thủy tinh, những mảnh thủy tinh và hóa chất sẽ rơi xuống, gây hư hại cho các tấm silic. Kết quả là toàn bộ sản phẩm đều bị hỏng. Đó là một sai lầm đáng tiếc, nhưng hoàn toàn có thể tránh được nếu thiết kế đèn được thực hiện một cách cẩn thận ngay từ đầu.
Vấn đề liên quan đến ozone
Hầu hết các đèn sóng ngắn đều phát ra bức xạ ở bước sóng khoảng 185nm. Vấn đề là chất bức xạ này sẽ tương tác với oxy để tạo thành ozone. Trong môi trường sản xuất bán dẫn, ozone chính là kẻ thù gây ăn mòn. Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng ống thủy tinh chất lượng cao, có khả năng lọc bỏ các bước sóng VUV. Nhờ vậy, không khí xung quanh sẽ được giữ ổn định, và bề mặt các tấm wafer sẽ không bị oxi hóa. Rất đơn giản phải không?
Bảo vệ ống thủy tinh khỏi sự hư hại
Khi đèn hoạt động ở công suất tối đa, nhiệt độ tạo ra sẽ rất lớn, gây áp lực lớn lên ống thủy tinh. Nếu vật liệu này không thể chịu đựng được sự thay đổi nhiệt độ đó, nó sẽ bị biến dạng và vỡ nứt. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng ống thủy tinh tổng hợp có chất lượng cao. Loại ống này ít bị giãn nở hơn so với loại ống rẻ tiền, do đó nó vẫn giữ được tính ổn định ngay cả khi phải chịu áp lực lớn.
Nhưng có một mẹo quan trọng: đừng chỉ dựa vào chất lượng của ống thủy tinh để bảo vệ đèn. Bạn cần sử dụng các lớp bảo vệ đặc biệt để ngăn chặn mảnh vỡ rơi xuống sản phẩm. Hãy coi đó như một biện pháp bảo hiểm. Nếu sợi dây tóc của đèn bị vỡ hoặc ống thủy tinh bị nứt, lớp bảo vệ này sẽ giữ lại các mảnh vỡ trước khi chúng chạm vào sản phẩm của bạn.
Chú ý đến các bộ phận kết nối
Các ống thủy tinh này tạo ra rất nhiều nhiệt, và áp lực này thường tập trung ở các điểm kết nối. Đây chính là nơi mà nhiều người mắc sai lầm. Nếu các bộ phận kết nối quá chặt, ống thủy tinh sẽ không có chỗ để giãn nở, dẫn đến việc nó bị vỡ. Hãy để cho đèn có chút không gian để thoát nhiệt. Sử dụng các bộ phận kết nối linh hoạt và để lại một chút khoảng trống. Điều này sẽ giúp các bộ phận máy móc không bị hư hại trong suốt quá trình hoạt động 24/7, từ đó đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra trôi chảy.