Kimyasal Ortamlarda IR Lambalarınızı Güvende Tutmak
Waferleri temizlerken genellikle uçucu ve yanıcı olan kimyasallarla karşı karşıya kalırsınız. Şimdi bunun içine yüksek yoğunluklu kızılötesi (IR) lambaları ekleyin; bu da felaketin habercisidir. Kimse üretim sürecinin ortasında bir patlama yaşanmasını istemez.
Bunu engellemek için artık açık yapıdaki lambalar kullanmıyoruz. Bunun yerine her şeyi kapalı bir yapı içinde tutuyoruz.
Kıvılcımın Önlenmesi
Düşünün: Küçük bir kıvılcım ya da sıcak bir yüzeyin çözücü buharlarıyla temas etmesi durumunda patlama meydana gelir. Bu korkunç bir senaryodur.
İşte bu yüzden IR lambalarımızı yüksek saflıkta kuvars malzemelerle kaplıyoruz ve uçlarını kimyasallara dayanıklı contalarla kapatıyoruz. Böylece ısıtma elemanı ile çevresindeki hava arasında sağlam bir bariyer oluşuyor.
Kasanın gaz geçirmez olduğundan emin oluyoruz. Böylece odada bir kimyasal sızıntısı olursa, bu buharlar lambanın içine sızmaz ve elektrik terminallerine ulaşamaz. Böylece tehlike dışarıda kalır.
Doğru Malzemelerin Seçilmesi
Kısa dalga boylu IR emitörler kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine aktarırlar. Çevredeki havayı veya kasanın kendisini ısıtmak için zaman kaybetmezler; bu da cihazın dış yüzeyinin daha soğuk kalmasını sağlar.
Lütfen contalarda tasarruf etmeyin. Ucuz contalar zamanla aşınır ve sızıntıya neden olur. Biz ise floropolimer bazlı contalar kullanıyoruz; çünkü bu contalar korozif maddelere karşı dayanıklıdır.
Ters Tarafları
Tabii ki bir dezavantajı da var. Bir lambanın etrafına koruyucu bir kılıf yerleştirdiğinizde, ısı kaynağı ile wafer arasında bir katman oluşur. Bu da ısı akışının biraz azalmasına neden olur. Bu büyük bir sorun değil, ancak bunu telafi etmek için güç ayarlarını değiştirmeniz veya biraz daha fazla zaman vermeniz gerekebilir.
Bir diğer nokta ise soğutma fanlarının kontrol edilmesidir. Eğer bu fanlar yeterince etkili değilse, kapalı yapı içinde ısı birikecek ve filamentiniz beklenenden daha hızlı yanacaktır.