열 낭비를 멈추세요: 공장 내 건조 과정을 더 효율적으로 처리하는 방법 스마트 공장을 구축하려는 경우, 기존의 방식인 단순히 뜨거운 공기를 불어넣는 방식은 더 이상 효과적이지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 건조 과정에서 발생하는 에너지 비용을 살펴보면, 상당한 양...

MEMS 웨이퍼를 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 다룬 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 아주 작은 물방울 하나나 건조 과정에서의 과도한 기계적 스트레스만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 열이 필요하지만, 정확하게 제어되어야 합니다...

공정 현장에서의 중요한 사실 하나의 물자국만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 표준 건조 방식은 열 기울기를 남기며, 이 기울기가 수분을 가두게 됩니다. 이는 포토레지스트 접착이 실패하고 수율이 저하된다는 것을 의미합니다. 우리는 이러한 변동성을 없애기 위해 할로겐...