웨이퍼 번인 테스트 히팅 램프

라인에서는 번인 오븐이 중단 없이 작동한다. 웨이퍼가 열적 스트레스를 받기 위해 줄을 서고, 이후 다음 공정으로 이동한다. 가열 램프가 지체되면 해당 스테이션 전체가 멈춘다. 온도가 변동하면 수율에 영향을 미친다. 번인 공정에서 램프는 단순 부품이 아니라 작업의 열적...