रासायनिक क्षेत्रों में अपने आईआर लैंपों को सुरक्षित रखना
जब हम वेफरों की सफाई करते हैं, तो हमें ऐसे रासायनिक पदार्थों का सामना करना पड़ता है, जो आसानी से जल सकते हैं। अब, इनमें उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंप भी जोड़ दें, तो यह एक विनाशकारी स्थिति बन जाती है। कोई भी व्यक्ति उत्पादन प्रक्रिया के दौरान किसी भी तरह के विस्फोट को नहीं चाहता।
इसे रोकने हेतु, हमने ओपन-एलिमेंट डिज़ाइनों का उपयोग बंद कर दिया। इसके बजाय, हमने सब कुछ एक कवर में रख दिया।
चिंगारियों को रोकना
सोचिए… एक छोटी सी चिंगारी या गर्म सतह, जो विलायकों के वाष्पों से संपर्क में आ जाए, तो विस्फोट हो सकता है। यह एक भयावह स्थिति है।
इसीलिए हम अपने आईआर लैंपों को उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बने कवरों में रखते हैं, एवं उनके छोरों को ऐसे गैस्केटों से बंद कर देते हैं, जो रासायनिक पदार्थों का सामना कर सकें। इससे हीटिंग एलिमेंट एवं उसके आसपास की हवा के बीच एक मजबूत दीवार बन जाती है।
हम यह भी सुनिश्चित करते हैं कि कवर पूरी तरह से गैस-रोधी हो। ऐसे में, यदि चैंबर में कोई रासायनिक पदार्थ लीक हो जाए, तो वे वाष्प लैंप के कवर में नहीं जा सकते, न ही विद्युत टर्मिनलों तक पहुँच सकते हैं। इससे खतरा बाहर ही रह जाता है।
सही सामग्री चुनना
हम शॉर्ट-वेव आईआर एमिटरों का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि ये ऊर्जा को सीधे वेफर की सतह पर ही भेजते हैं। इससे आसपास की हवा या कवर को गर्म करने में समय नष्ट नहीं होता, जिससे लैंप का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है।
और कृपया, सीलिंग पर कोई समझौता न करें। सस्ते गैस्केट धीरे-धीरे खराब हो जाते हैं, जिससे लीकेज हो जाता है। हम फ्लोरोपॉलिमर-आधारित गैस्केटों का ही उपयोग करते हैं, क्योंकि ये खराब होते नहीं हैं।
नुकसान/चुनौतियाँ
लेकिन इसका एक नुकसान भी है… जब हम लैंप के चारों ओर सुरक्षात्मक कवर लगाते हैं, तो ऊर्जा स्रोत एवं वेफर के बीच एक परत बन जाती है। इससे थोड़ी ऊर्जा बर्बाद हो जाती है। यह कोई बड़ी समस्या नहीं है, लेकिन इसकी भरपाई हेतु आपको अपनी पावर सेटिंगों में बदलाव करना होगा, या थोड़ा अधिक समय देना होगा।
एक और बात… अपने कूलिंग फैनों की जाँच जरूर करें। सुनिश्चित करें कि वे ठीक से काम कर रहे हैं। यदि कवर के अंदर गर्मी जमा हो जाए, तो लैंप का फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाएगा।