ग्लास शॉवर को रोकें: अपने वेफरों को ट्यूबों के फटने से बचाएं
उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर उपकरणों में, इन्फ्रारेड लैंप का फटना केवल एक समस्या ही नहीं है… यह तो एक भयावह स्थिति है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो यह केवल काम करना बंद ही नहीं करती… बल्कि वेफर की सतह पर छोटे-छोटे काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ भी गिर जाते हैं… यह बहुत ही खराब स्थिति है। इसीलिए हम ऐसे हीटर बनाते हैं, जिससे ऐसी स्थितियों से बचा जा सके।
ट्यूबें आखिर क्यों टूटती हैं?
ज्यादातर मामलों में, ऐसा थर्मल स्ट्रेस के कारण होता है… जब लैंप को अधिकतम वॉटेज पर चलाया जाता है, तो उसका केंद्र बहुत गर्म हो जाता है, जबकि उसके छोर ठंडे ही रहते हैं… ऐसी स्थिति में काँच के अंदर दबाव पैदा हो जाता है…
इस समस्या को दूर करने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… ऐसा क्वार्ट्ज आसानी से सिकुड़ता या फैलता नहीं है… इसलिए ट्यूब हमेशा स्थिर ही रहती है…
हम ट्यूब के छोरों को भी नजरअंदाज नहीं करते… खराब तरीके से बने सील दबाव के कारण आसानी से टूट जाते हैं… हमने सीलों की संरचना को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे मजबूत रहें… इससे भारी लोड के दौरान भी कोई समस्या नहीं होगी।
सुरक्षा उपाय
देखिए, दुर्घटनाएँ तो हो ही जाती हैं… यहाँ तक कि सबसे अच्छी ट्यूबें भी खराब हो सकती हैं…
ऐसी स्थितियों में ही भौतिक सुरक्षा उपाय आवश्यक हैं… हम हीटिंग तत्वों पर उच्च-पारगम्यता वाले क्वार्ट्ज स्लीव या सुरक्षात्मक जाल लगाते हैं… इसे एक बीमा पॉलिसी के रूप में ही समझें… यदि लैंप खराब हो जाता है और ट्यूब टूट जाती है, तो यह स्लीव टूटे हुए टुकड़ों को रोक लेता है… इससे वेफर साफ ही रहते हैं, और प्रक्रिया भी जारी रहती है।
कुछ नुकसान
हालाँकि, ऐसे सुरक्षात्मक उपायों से थोड़ी ऊष्मा-प्रतिरोधकता बढ़ जाती है… इसके कारण लैंप से निकलने वाली ऊष्मा में थोड़ी कमी आ जाती है…
इसकी भरपाई हेतु आपको अपनी वोल्टेज सेटिंगों में थोड़ा संशोधन करना होगा… यह तो 12-इंच वाले वेफरों को बर्बाद होने से बचाने हेतु एक छोटी सी कीमत ही है…
एक अंतिम सलाह: ऐसे उपकरणों का उपयोग करते समय पीआईडी नियंत्रण प्रणाली का उपयोग अवश्य करें… बस वोल्टेज को बढ़ाकर हीटिंग प्रक्रिया को जबरदस्ती चलाने की कोशिश न करें… ऐसा करने से लैंप के फिलामेंट नष्ट हो जाएंगे… वोल्टेज को स्थिर रखें, ताकि आपका उपकरण लंबे समय तक काम कर सके।