फैब फ्लोर पर
एक ही पानी का धब्बा एक वेफर को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। मानक सुखाने से थर्मल ग्रेडिएंट उत्पन्न होते हैं, और ये ग्रेडिएंट नमी को फंसाते हैं। इसका मतलब है कि फोटोरेसिस्ट का आसंजन विफल हो जाता है और उत्पादन में कमी आती है। हमने इस भिन्नता को समाप्त करने के लिए हॉलोजन IR इमिटर बनाया है। अंदर क्या मायने रखता है इमिटर शॉर्ट-वेव हॉलोजन क्वार्ट्ज लैंप पर निर्भर करता है, जो तेज, लाइन-ऑफ-साइट IR प्रदान करता है। गर्म क्षेत्र में, हम तापमान की समानता को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं, ताकि हर डाई को समान थर्मल बजट मिले। फिलामेंट ज्यामिति और परावर्तक को सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक में पुनरावृत्ति के लिए ट्यून किया गया है, जिससे महत्वपूर्ण फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल स्थिर रहते हैं, रन के बाद रन। क्लीनरूम की फिटिंग भी शामिल की गई है: कम आउटगैसिंग सामग्री, सील किए गए टर्मिनेशन, और एक सतह खत्म जो कण उत्पन्न करने को शून्य पर बनाए रखता है। सिस्टम 24/7 स्थिर आउटपुट के साथ चलता है, और लैंप जीवन 5,000+ घंटे का समर्थन करता है, जिसमें न्यूनतम आउटपुट ड्रिफ्ट होती है। यह दृष्टिकोण प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है वेफर सुखाना केवल गर्मी के बारे में नहीं है। यह पानी, फिल्म और पैटर्न के बीच इंटरफ़ेस को प्रबंधित करने के बारे में है। IR प्रोफ़ाइल वेफर को तेजी से सुखाती है बिना ओवरशूट के, ताकि फोटोरेसिस्ट मानक में रहे। आपको लाइन नियंत्रण को छोड़ने के बिना तेज चक्र समय मिलता है, और प्रक्रिया की खिड़की तंग होती है—कम रीवर्क, कम स्क्रैप लॉट। डायरेक्ट IR कपलिंग ऊर्जा खींचने को कम करती है, और चूंकि प्रोफ़ाइल पुनरावृत्त होती है, आप ट्यूनिंग में कम समय बिताते हैं और शिपिंग में अधिक। कुछ व्यावहारिक नोट्स इमिटर तब सर्वोत्तम कार्य करता है जब यह वेफर के लिए सीधे लाइन-ऑफ-साइट हो, और इसे सटीक ऑप्टिकल संरेखण की आवश्यकता होती है। दूरी के दूसरे घातांक के साथ तीव्रता घटती है, इसलिए कार्यात्मक गैप को निश्चित और कैलिब्रेटेड होना चाहिए। आप संवहन की तुलना में उच्च पीक पावर घनत्व देख रहे हैं, इसलिए स्थानीय गर्म स्थानों से बचने के लिए इसे एक थर्मल रूप से स्थिर चरण के साथ जोड़ा जाना चाहिए। एकीकरण सरल है, लेकिन लैंप हेड का थर्मल मास मतलब है कि आपको उपकरण में कूलडाउन अनुक्रम पर ध्यान देने की आवश्यकता है।