Schutz der IR-Lampen in chemischen Umgebungen
Wenn man Wafern reinigt, arbeitet man in der Regel mit Chemikalien, die flüchtig und somit entzündlich sind. Wenn man nun noch hochintensive Infrarotlampen hinzufügt, entsteht eine Situation, die zu einem Desaster führen kann. Das Letzte, was man möchte, ist, dass es mitten im Produktionsprozess zu einer Entzündung kommt.
Um das zu verhindern, verwenden wir keine Lampen mit offenen Heizelementen. Stattdessen umhüllen wir alle Komponenten mit speziellen Gehäusen.
Vermeidung von Funken
Stellen Sie sich vor: Ein kleiner Funke oder eine heiße Oberfläche, die auf Lösungsmitteldämpfe trifft – schon kommt es zu einer Explosion. Das ist ein Albtraumszenario.
Deshalb umhüllen wir unsere IR-Lampen mit Quarzgehäusen hoher Reinheit. Die Enden werden außerdem mit Dichtungen verschlossen, die den Chemikalien standhalten können. Dadurch entsteht eine feste Barriere zwischen dem Heizelement und der umgebenden Luft.
Wir stellen sicher, dass das Gehäuse gasdicht ist. So können bei einem Chemikalienleck keine Dämpfe in das Gehäuse eindringen oder die elektrischen Anschlüsse erreichen. Damit wird die Gefahr beseitigt.
Auswahl der richtigen Komponenten
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler. Warum? Weil sie die Energie direkt auf die Oberfläche der Wafer übertragen. Dadurch wird keine Energie damit verschwendet, die umgebende Luft oder das Gehäuse selbst zu erwärmen. Dadurch bleibt die Außenhülle der Lampe viel kühler.
Achten Sie bitte darauf, hochwertige Dichtungen zu verwenden. Billige Dichtungen zerstören sich nach kurzer Zeit und führen zu Leckagen. Wir verwenden Dichtungen aus Fluoropolymern – diese zerfallen nicht, selbst wenn die Umgebung bedingt korrosiv ist. Sie halten einfach stand.
Kompromisse
Es gibt jedoch einen Nachteil: Wenn man eine Schutzhülle um die Lampe legt, entsteht eine zusätzliche Schicht zwischen der Wärmequelle und der Wafer. Dadurch geht etwas von der Wärme verloren. Das ist zwar kein Problem, aber man muss die Leistungseinstellungen anpassen oder die Belichtungszeit erhöhen, um das auszugleichen.
Noch eines: Überprüfen Sie Ihre Kühlventilatoren. Stellen Sie sicher, dass sie ihren Aufgaben gewachsen sind. Wenn sich Wärme innerhalb des Gehäuses ansammelt, kann der Glühfaden schneller zerstört werden, als eigentlich nötig wäre.