Stoppen Sie den „Glasregen“: Schützen Sie Ihre Wafer vor dem Platzen der Glaspipetten
In einer Anlage mit hohem Betriebsaufwand stellt das Platzen einer Infrarotlampe nicht nur ein Problem bezüglich der Störungsdauer dar – es handelt sich dabei vielmehr um ein echtes Albtraum-Szenario. Wenn eine Quarzpipette platzt, hört sie zwar auf zu funktionieren – doch gleichzeitig werden die Oberflächen der Wafer mit winzigen Glasstücken sowie chemischen Rückständen bedeckt. Das ist wirklich chaotisch. Deshalb konstruieren wir unsere Heizelemente so, dass dieses Risiko bereits im Voraus vermieden wird.
Warum gehen die Pipetten eigentlich kaputt?
Meistens liegt der Grund in thermischen Belastungen. Wenn man die Lampe bis zum maximalen Leistungsniveau betreibt, wird das Zentrum der Lampe extrem heiß, während die Enden kühler bleiben. Dieser Temperaturunterschied verursacht innere Spannungen im Glas. Um dies zu verhindern, verwenden wir hochreines, gefülltes Quarzmaterial. Dieses dehnt oder schrumpft deutlich weniger als billiges Material – dadurch bleibt die Pipette auch bei schnellen Temperaturwechseln stabil.
Außerdem achten wir auch auf die Enden der Pipetten. Schlecht gelagerte Verschlüsse sind meist die ersten, die unter Druck zerbrechen. Wir haben die Geometrie dieser Verschlüsse so angepasst, dass sie widerstandsfähiger sind – so müssen Sie sich keine Sorgen mehr um ein Ausfallrisiko machen.
Die Sicherheitsmaßnahmen
Auch die besten Pipetten können versagen. Dafür gibt es physikalische Schutzmaßnahmen: Wir verwenden einen Quarzscheitel mit hoher Lichtdurchlässigkeit oder ein Schutznetz über dem Heizelement. Das kann man wie eine Art Versicherung betrachten. Falls eine Lampe ausfällt und die Pipette zerbricht, fängt der Scheitel die Trümmer auf. So bleiben Ihre Wafer sauber und der Produktionsprozess kann weiterlaufen.
Der Kompromiss
Es gibt allerdings einen Nachteil: Der Zusatz dieses Schutzes führt zu einer leichten Erhöhung des Widerstands gegen Wärmeübertragung. Dadurch geht etwas von der direkten Infrarotstrahlung verloren. Sie müssen möglicherweise Ihre Leistungseinstellungen anpassen oder den Aufwärmetakt etwas verlängern, um dies auszugleichen. Das ist jedoch ein kleiner Preis, um eine ganze Charge von 12-Zoll-Wafern zu retten.
Noch ein Tipp: Verwenden Sie dazu ein präzises PID-Steuerungssystem. Steigern Sie nicht einfach die Spannung, um die Wärme durch den Schutzscheitel zu zwingen – das würde die Filamente zerstören. Halten Sie die Spannung konstant, dann hält Ihre Ausrüstung viel länger.