
Stoppen Sie die Glassplitter: Halten Sie Ihre Wafer sauber mit ozonfreien IR-Lampen
Bei einer hohen Produktionsrate ist ein defekter Lampenkolben nicht einfach nur ein „technischer Fehler“ – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Schon eine einzige Riss im Quarzrohr führt dazu, dass Glassplitter und Chemikalien auf die Siliziumwafer fallen. Dadurch wird die ganze Charge unbrauchbar. Es handelt sich dabei um einen kostspieligen Fehler, der vollständig vermieden werden kann, wenn man von Anfang an ein korrektes Design wählt.
Das Problem mit dem Ozon
Die meisten Kurzwellenlampen emittieren Strahlung in der Wellenlänge von etwa 185 nm. Das Problem: Diese Strahlung reagiert mit Sauerstoff und erzeugt Ozon. In einem Halbleiterwerk ist Ozon im Grunde ein korrosiver Feind.
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine spezielle Quarzhülle verwenden, die diese UV-Wellenlängen filtert. Dadurch bleibt die Luft stabil und die Oberflächen der Wafer oxidieren nicht. Einfach.
Schützen Sie das Rohr vor Beschädigungen
Wenn diese Lampen auf Hochtouren laufen, entsteht eine enorme Wärmebelastung auf dem Quarz. Wenn das Material dieser Belastung nicht standhalten kann, dehnt es sich aus oder bricht. Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser dehnt bzw. schrumpft viel weniger als billigeres Material – dadurch bleibt er auch unter hoher Belastung stabil.
Aber hier ist ein Tipp: Verlassen Sie sich nicht allein auf den Quarz, wenn Sie die Lampen mit maximaler Leistung betreiben. Sie benötigen unbedingt eine bruchfeste Hülle oder eine Abschirmung. Stellen Sie sich das wie eine Versicherung vor: Falls die Glühfaden kaputtgehen oder das Glas zerbricht, fängt die Hülle die Trümmer ab, bevor sie Ihre Produkte beschädigen können.
Achten Sie auf die Befestigung
Diese Lampen erzeugen viel Wärme – diese Belastung konzentriert sich meist an den Befestigungspunkten. Hier machen viele Leute Fehler. Wenn die Befestigungselemente zu fest sind, hat das Glas keinen Platz zur Ausdehnung – dadurch bricht das Glas. Gönnen Sie den Lampen etwas Spielraum. Verwenden Sie schwimmende Befestigungen und lassen Sie etwas Abstand. So bleibt die Ausrüstung während der 24/7-Produktion intakt – und Ihre Produktionslinie kann weiterhin funktionieren.