Vermeidung von Energieverlusten in den Spülfaszen
Seien wir ehrlich: Es ist sinnlos, ganze Mengen an Luft zu erhitzen, nur um eine Wafer zu trocknen. Das ist wie wenn man das ganze Haus heizt, nur um eine Tasse Kaffee zu erwärmen. Die meisten herkömmlichen Konvektions- oder Widerstandssysteme verschwenden einfach Energie.
Deshalb haben wir auf wasserdichte Infrarotlampen umgestellt. Anstatt die Luft zu erhitzen, strahlen diese Lampen direkt auf die Oberfläche der Wafer. Das ist eine viel effektivere Art, Wärme zu nutzen.
Reduzierung von Kohlenstoffemissionen – und Kosten
Wenn Sie die Ziele einer „grünen Fabrik“ erreichen wollen, müssen Sie genau darauf achten, wohin die Energie tatsächlich fließt. Herkömmliche Öfen geben die Wärme überall ab. Indem man die Energie gezielt dort einsetzt, wo sie benötigt wird, sinkt die Gesamtmenge an verbrauchten Kilowattstunden pro Wafer.
Außerdem muss man nicht ewig warten, bis das System vollständig funktioniert – oder Energie verschwenden, während es stillsteht. Das System funktioniert einfach. Dadurch verringert sich Ihre CO2-Bilanz und die Effizienz steigt. Es ist also ein Gewinn für alle Beteiligten.
Umgang mit dem Chaos
Die Spülfaszen sind extrem schwierig. Es herrscht hohe Feuchtigkeit, chemische Dämpfe und Feuchtigkeit überall. Wenn man eine normale Quarzröhre verwendet, wird diese entweder durchbrennen oder oxidiert. Das darf nicht passieren.
Um das zu verhindern, verwenden wir spezielle wasserdichte Gehäuse für die Lampen, die außerdem feuchtigkeitsresistente Anschlüsse haben. Keine Feuchtigkeit kann eindringen – keine vorzeitige Zerstörung der Lampen. Nur zuverlässige Wärmeabgabe.
Je nach verwendeten Chemikalien verwenden wir meist Kurzwellen- oder Mittelwellen-Infrarotlampen. Kurzwellen sind besonders gut, denn sie durchdringen Schichten aus Feuchtigkeit schneller – dadurch trocknen die Wafer in kürzerer Zeit.
Achtung: Es ist nicht einfach nur „einstecken und vergessen“
Hochintensive Infrarotstrahlen erzeugen viel lokalisierte Wärme. Wenn man die Kühlventilatoren sowie Kühler nicht richtig einstellt, kann es Probleme geben. Man möchte schließlich nicht, dass die Prozesssenoren wegen der hohen Temperaturen versagen.
Ein Tipp: Verwenden Sie einen geschlossenen PID-Regler. Damit bleibt alles stabil – und die Wafer werden nicht versehentlich zerstört.
Stellen Sie außerdem sicher, dass die Stromversorgung stabil ist. Spannungsspitzen können das Quarzgehäuse beschädigen – das ist ein Problem, das niemand haben möchte. Aber sobald die Verkabelung und Kühlung richtig eingestellt sind, ist das eine saubere und effiziente Alternative zu den alten Heizblöcken.